中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9232761 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、コンタクトバンプを確実に形成し、集積回路の構造を相互接続するように設計された電子インプラント・マイクロエレクトロニクス装置です。この原子炉は、高温、高真空、水素フリーのプロセス能力を1つのプラットフォームで提供することで実現しています。AMAT P-5000炉には、加熱可能なベルジャー、基板ヒーター、および複数の電極が装備されています。加熱可能なベルジャーは、真空中で動作するガラス管で、複数のホットスポットが含まれています。基板ヒーターは、基板温度を均等かつ正確に制御するために使用されます。電源に接続された複数の電極を使用して電気アークを作成し、接触バンプや相互接続構造をアニールまたは埋め込むための迅速かつ信頼性の高い方法を提供します。APPLIED MATERIALTS P 5000リアクターのコンポーネントは、真空レベルが6。4e-4 torr未満で、すべて1500°Cまで温度に達することができます。このシステムには自動ガス配送システムも含まれており、プロセスレシピの柔軟性を実現しています。これにより、加工に使用される有害物質の温度、圧力、流量を正確に制御することができます。応用材料P5000原子炉は極端な条件で動作するように設計されており、再現性と信頼性を提供します。パワー制御システムは、デジタルパルス幅の変調を備えており、電気アークの精密制御を可能にします。原子炉には複数のチャンバーがあり、複数のプロセスを並列に実行できます。これにより、複数のユーザーがさまざまなウェーハサイズとダイサイズを適用することができます。さらに、オプションのElectrostatic Chuck （ESC）により、基板およびウェーハの電気機械的パラメータを正確に制御することができ、プロセス位置への電流の均一な流れを可能にし、ダイダイの不整合による変動を低減できます。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000原子炉は、無線周波数（RF）発電機や赤外線（IR）カメラなどの高度な機能を提供します。RFジェネレータは、デバイスの故障を防ぐために、RFコンポーネントを備えたデバイスが安全なガイドライン内で動作することを保証します。IRカメラは、より高い温度の領域をすばやく識別するのに役立ち、より速く、より正確なプロセスを可能にします。小型の原子炉P5000は、最小限のスペースで強力で信頼性の高いプロセスを行うことができ、コスト削減につながります。モジュラーコンポーネントと統合された機能は拡張性と柔軟性を提供P-5000、幅広い電子インプラント・マイクロエレクトロニクス用途に理想的な選択肢となります。