中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9226363 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、高生産性の抵抗性および容量性エッチング用途向けに設計された広範囲のシングルウェハパワーリアクターです。5インチのウェーハ機能を備えた最初のパワーエッチャーです。このツールは、マルチレベルの双方向プラズマ源、オプションの第5電極を備えた4つの電極、および調整可能なデュアルイオンベースの窓を備えています。大面積エッチングチャンバーにより、1つのバッチで最大5つのウェーハが可能になり、より高いスループットと少ないプロセスサイクルを実現します。AMAT P-5000は複数のガス注入ポートを備えているため、エッチングチャンバーに多くのガスを注入することができ、プロセスの一貫性と制御性が向上します。このツールには、エッチングチャンバー内のすべてのウェーハに均一な冷却を提供する裏面冷却アセンブリも含まれています。これにより、各ウェハが均一なエッチングと冷却を確実に受けることができます。このツールは、自動ガスレベリング、温度制御、およびRFリアルタイムプロセス監視システムを備えた統合プロセス監視システムも提供します。内蔵電源はエッチングチャンバー内のパワーレベルを制御し、ガス流量制御はウェーハ全体のガス流量を監視します。APPLIED MATERIALTS P 5000には、正確で反復可能なエッチング結果を保証する自動プロセス追跡システムもあります。P 5000は、ユーザーが目的の製品結果を達成するためにプロセスパラメータをカスタマイズすることができます高度なプロセス制御を持っています。これには、エッチング電流レベル、ピーク電力および持続時間を調整し、他のパラメータの中でもRFパルスの幅を調整する機能が含まれます。この機能により、このツールは高度な製造プロセスに特に適しています。P-5000には、拡張されたシールドカバートレイ、金属衝突検出、限られた放射線漏れなど、多くの安全機能もあります。このツールは、ウェーハの破損やその他の安全アラームも自動的に検出します。要約すると、AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000は、高生産性抵抗性および容量性エッチング用途向けに設計された広範囲のシングルウェハパワーリアクターです。マルチレベル双方向プラズマ源、オプションの第5電極を備えた4つの電極、調整可能なデュアルイオンベースの窓を備えています。このツールには、統合されたプロセス監視、高度なプロセス制御、および多数の安全機能も含まれているため、高度な製造プロセスに最適です。