中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9226220 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9226220
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1995
CVD System, 6" 1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、製品や材料に熱および化学的処理を行うために使用されるツールです。主にエッチング、蒸着、酸化などのプロセスに使用されます。この原子炉は400°Cから1000°Cの高出力密度で15W/cm2まで動作します。サーマルバリアコーティングや半導体用の高度な酸化プロセスなどの用途向けに薄膜を作成することができます。AMAT P-5000は2ゾーンリアクターです。つまり、異なる時間に独立して操作できる材料用の2つのビンがあります。また、各ビンの下部と中央にある2つの石英水晶ヒーターを備えており、3面フェースプレートにより、プロセスガスが材料と同時に相互作用することができます。反応室は密封された大気を持つように設計され、材料のより正確な温度、持続時間、および電力制御を可能にする1つの特定の圧力で保たれます。APPLIED MATERIALTS P 5000は、熱および化学操作中の電力を制御するためにデュアルポテンショスタットコントローラを使用しています。このコントローラーはユーザーフレンドリーで、ユーザーが選択したパラメータと設定で簡単にプログラムできるように設計されています。さらに、高精度な温度、圧力、持続時間制御機能により、ユーザーは時間の経過とともにプロセス精度と再現性を向上させます。P 5000には、緊急時の緊急遮断スイッチや、安全上の理由からチャンバー内のO2レベルを監視する酸素センサーなどの安全機能も含まれています。さらに、この装置には耐薬品性ステンレス製のシェルが装備されており、反応室の腐食やさらなる摩耗から保護します。AMAT P5000の用途には、薄膜成膜およびスパッタリングプロセス、酸化および窒化酸化プロセス、電気化学およびレーザーアブレーションプロセスがあります。また、パワーデバイス包装、バイオメディカルインプラントコーティング、マルチメタル/合金薄膜アプリケーションにも適しています。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000は多くの熱および化学プロセスのための非常に多目的で、信頼できるシステムです。その安全機能と正確な制御機能は、クラスの他のツールとは別に設定されており、ユーザーは繰り返し可能で一貫性のある結果を時間後に達成することができます。
まだレビューはありません