中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9203824 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、粒子汚染を低減する化学プロセスを容易にするために、反応チャンバーを利用した5チャンバーシングルウェーハリアクターです。独自の設計と機能により、幅広い精密研究開発アプリケーションに最適です。AMAT P-5000は、各反応チャンバが1。25リットルのサイズで、下流プロセス圧力と流量を調整する高度なプロセス制御モジュールを備えた5チャンバプロセスです。チャンバはすべて絶縁バルブと相互接続されており、チャンバ間のプロセスのほぼ完全な分離とチャンバ間の均一な処理温度範囲を確保するのに役立ちます。また、高度な温度管理を備えており、高度な高温および低温ガス制御、および統合された大気制御を使用して、各チャンバー内の温度を正確に制御することができます。APPLIED MATERIALS P 5000の主な用途は、正確な温度、圧力、流量能力を必要とする高精度プロセスを実行することです。化学蒸着（CVD）や原子層蒸着（ALD）などのプロセスを実行することができます。チャンバー設計により、すべてのチャンバーにわたって精密かつ均一な処理温度が得られ、均一な基板加熱が保証されます。これは、CVDやALDなどの高レベルのプロセスでの均一性と再現性の鍵です。カスタムメイドの設計により、チャンバー全体が漏れにくく、プロセスガスがシステムから逃げられないようになります。AMAT P5000はまた、洗練されたプロセス制御と監視を備えており、チャンバーの温度、圧力、流量、および大気条件に対する正確な制御を保証します。ユーザーインターフェイスは手動または自動化された操作を可能にし、すべてのプロセスパラメータをリアルタイムで監視します。このユニットは、制御、安全、メンテナンスのためのハードウェアおよびソフトウェアソリューションの範囲を提供し、ユーザーにマシン全体を完全に制御することができます。全体として、APPLIED MATERIALS P5000は、高信頼性、高精度、自動化された研究開発プラットフォームであり、さまざまな正確なプロセスに適しています。このツールの温度、圧力、フロー制御機能は、高度なプロセスモニタリングと相まって、信頼性の高い正確なプロセスプラットフォームをユーザーに提供します。