中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9203417 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは多目的、生産スケールのエッチャーおよび沈殿用具です。最先端の薄膜部品やデバイスの作成に最適な最先端の真空処理システムです。AMAT P-5000は管状の、単層ステンレス鋼の部屋と組み立てられ、堅牢な信頼性および取付けの容易さを提供します。高さは156。5 cmで、20インチの閉口径と最大6トーラーの圧力能力を備えた二重壁ステンレススチールエンクロージャの内部にあります。チャンバー自体は106 l/sの標準的なポンプ速度と187リットルの容積を持っています。応用材料P 5000はポリシリコン、チタンケイ化物、窒化ケイ素で構成されています。応用材料P-5000は2つの主要なイメージング構成を利用します；circular-viewイメージプロセッサとplan-viewイメージプロセッサ。サーキュラービュープロセッサはウェーハエッチングやその他のパターニングプロセス用に設計されていますが、プランビュープロセッサは完全な基板蒸着プロセスを可能にします。どちらのプロセッサもデュアルソース照明に依存しているため、チャンバ全体の詳細なイメージングが可能です。P-5000には2つのFM-300電子電源が搭載されており、最大800ワットの範囲と1％の精密レギュレーションを備えています。ハイエンドのコンデンサとロータメータにより、エッチングと蒸着速度を正確に制御できます。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000は、ガスバッフル、加熱スライド、ヒーターおよび抵抗器、および特殊クライオクーラーを組み合わせたオールラウンド真空シールシステムを使用しています。これにより、すべてのプロセスコンポーネントが密閉され、潜在的な漏れ点がなくなり、800Wまでの信頼性の高いパルスエッチングが可能になります。このシステムは近代的なクリーンルームに設置されており、優れた汚染制御を提供しています。独立したロードロックチャンバーは優れたウェーハ処理を提供し、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスは迅速かつ効率的な操作を可能にします。P 5000は、品質保証と生産効率のための最高基準を満たすように設計されており、大規模な生産にはるかに優れた歩留まりと欠陥の減少を提供します。その高度な原子炉設計は、優れた制御、信頼性、性能を提供し、クラスで最も信頼性の高いツールセットの1つです。