中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9196361 を販売中

ID: 9196361
ウェーハサイズ: 8"
PECVD System, 8" Wafer sense Robot Storage elevator Ergo cassette loaders Electrical / Pump rack UNIT INSTRUMENTS, 1660 RF Matching network RIF Rack (2) EDOCS With rack Mini controller Monitor rack Heat exchanger Tool cables Lamp modules Nitride PARC (4) Chambers Missing parts: Process kits OEM Mouse Process: USG SiN.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、さまざまなタスクを実行できる高性能の半導体加工炉です。主にリソグラフィ、エッチング、エピタキシー、インプラントなどの製造プロセスで使用されます。AMAT P-5000は、さまざまな基板形状に対応できる225mmの大型チャンバーを備えています。それに容易な組み立てのための現地のアダプター版があり、よりよい熱管理のための水平に取付けられた排気フード。アプライドマテリアルズP 5000には、プロセス・ガスのStep&Repeat (S&R)とContinuous Scan (CS)の両方を提供するように構成できる2つの独立したソース・スロットが装備されています。これにより、スループットの向上と一貫した結果の提供が可能になります。さらに、AMAT P 5000には独自のEndura Gas Management Equipmentが含まれており、ユーザーはプロセスチャンバーへのガスの流れを正確に制御できます。Endura Gas Management Systemは、ダウンタイムの削減と廃棄物の最小化を支援する自動パージングプロセスも備えています。P5000はまた温度調整機能のフルレンジが装備されています。チャンバー内の温度を+/− 0。5°C以内に維持する高精度温度調節ユニットを特長としています。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000には、基板全体の均一性を検証するゾーンアクションコントロール(ZAC)マシンも含まれています。さらに、AMAT P5000はEndura StandardまたはAdvanced Gas Management Toolと組み合わせることができ、ユーザーは無制限のレシピと自動ガス混合を利用することができます。APPLIED MATERIALS P5000は、高性能で高精度なため、業界をリードする歩留まり、再現性、サイクルタイムが望まれる生産プロセスに最適です。また、幅広い電圧および電力要件に対応でき、直径11インチまでのウェーハに対応できます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000は、迅速なセットアップのために設計されており、ユーザーはすぐに立ち上がり、実行することができます。優れた性能と堅牢な設計により、P-5000はあらゆる半導体生産環境に最適なソリューションです。
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