中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9196360 を販売中
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ID: 9196360
ウェーハサイズ: 8"
SACVD System, 8"
PLIS System
Process:
USG
BPSG
Robot
Storage elevator
Chemical gas cabinet
(3) Chambers
(3) Ozone generators
(3) RF Generators.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactorは、幅広いプロセス要件に対応した高品質な結果を得ることができる汎用性の高い高スループットプラズマ処理ツールです。精密エッチング、成膜、表面改質用途向けに設計されています。AMAT P-5000は、デュアルプロセスチャンバー、統合ロボットローディングシステム、および高度なプラズマ制御アルゴリズムを備えたインライン型のバッチ式装置です。APPLIED MATERIALS P 5000は、高度なマルチソースプラズマ配信システムと完全に自動化されたプロセス制御を組み合わせることで、比類のないレベルのプロセス制御、再現性、および製品品質を提供します。AMAT P5000の高度なプロセス制御技術には、プロセス要件に応じてガスおよびプラズマパラメータをリアルタイムで調整する最先端のクローズドループ制御ユニットが含まれています。これにより、プロセスの再現性と精度が向上し、高品質な結果が保証されます。AMAT P 5000はまた、N2、 O2、 CF4、 SF6などのさまざまなプロセスガスを生成することができる高度なプラズマ源の範囲を備えています。これらのガス源の存在は、機械のエッチングと蒸着能力を高める高度なプロセスレシピの使用を可能にします。APPLIED MATERIALS P-5000はまた、高度なプロセス制御の柔軟性を提供し、ユーザーは操作中にプロセスパラメータを正確に制御することができます。これにより、無駄を最小限に抑えて高品質の製品を生産することができます。さらに、アセットにより、オペレータはアプリケーションの特定のニーズに合わせてプロセス変数を調整することができ、調整されたプロセスの最適化が可能になります。また、外部プロセス制御装置と容易に組み合わせることができ、より複雑なプロセスを正確に実行することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 Reactorは、生産レベルの性能と高度なプロセス能力を備えた、汎用性の高い堅牢なプラズマ処理モデルです。高度な制御アルゴリズム、統合ロボティクス、汎用性の高いガスソースオプションにより、厳格なプロセス制御精度を必要とする幅広いアプリケーションに適しています。その高スループット機能とプロセスパラメータを迅速に調整できるため、時間とコスト効率が重要な生産レベルの実装にとって魅力的なソリューションとなります。
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