中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9195270 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、特殊な電気化学成膜またはエッチング操作に使用されるプラズマプロセス炉です。この原子炉は、最大50kWのプラズマ出力を、2 × 10-3 torrまでのチャンバー圧力で供給することができます。さらに、このプロセスリアクターには、統合されたウェーハローダーとアンローダー、統合されたクリーニングシステム、堅牢な照明システムが含まれています。AMAT P-5000原子炉には、静電気や高温に対する遮蔽のための金属およびセラミック部品から構成されるプロセスチャンバーがあります。チャンバーの金属部品はガス密度が高く、プロセスと排気チャンバを完全に分離して効率的なオフガス処理を行います。アプライドマテリアルズP 5000リアクターは、水素、ヘリウム、窒素、酸素など、さまざまなガス大気で動作します。また、フルオロカーボン、塩酸、その他の有機ガスを処理することができます。原子炉室は単段PEMインターフェースを持ち、複数の基板上で同時に蒸着が行われます。蒸着またはエッチングのプロセスは、低電圧DC電流源で制御されます。リアクタントは、チャンバーの外周の周りにある注入ポートを介してシリアル注入されたガスです。その後、プラズマのエネルギーは基板に向けられます。このエネルギーは、リアクタントと基材の間の結合を破壊するのに十分であり、堆積プロセスを可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000リアクターには、ウエハローディングシステムが内蔵されており、最大12基板を一度に積み降ろすことができます。このシステムで使用されるロボットアームは、人間の介入を最小限に抑えるように設計されています。統合されたelctroクリーニングシステムはプロセス間の急速なクリーニングを提供し、照明システムは操作の間に視覚的なアクセスを提供します。AMAT P5000は、産業、研究、学術分野の幅広い分野において、複雑な電気化学的成膜またはエッチング処理のための汎用性と能力の高い原子炉です。この原子炉は、リソグラフィ、MEMS、半導体製造など、多くの用途に適しています。