中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9193408 を販売中

ID: 9193408
ウェーハサイズ: 8"
Robots, 8" O-Rings Motors: 0020-7657-C-CDSL.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactorは、高度な半導体アプリケーションと材料研究用に設計された高精度のプロセスツールです。これは、250°Cから1100°Cまでの温度を備え、純粋なN2、 O2、 Arなどのプロセスガスの範囲を備えています。AMAT P-5000リアクターはまた、高圧、低熱質量、高温、および低熱時間定数を備えています。APPLIED MATERIALS P 5000 Reactorは、CVDおよびPVDプロセスを含む様々な蒸着速度を達成することができるin-situツールです。垂直モードまたは水平モードで動作し、単結晶、ナノスケール、多層膜の蒸着および急速熱処理に使用できます。AMAT P5000 Reactorは、高度な半導体プロセス開発およびデバイス工学のアプリケーションにも適しています。AMAT P 5000リアクターは、ナノスケールフィルムや複雑なマルチレイヤーの製造、高密度集積回路の成長に特に役立ちます。それは優秀な動力学および制御を提供し、フィルムの厚さ、粗さおよび他の形態学的な変数の制御を可能にします。その大きなチャンバーサイズ、低熱質量、低熱時間定数により、機能層材料の高スループット生産に適しています。アプライドマテリアルズP-5000リアクターは、利用可能なプロセスとプロセスレシピの広い範囲を持っており、高い沈着率と優れた均一性を達成することができます。また、アグレッシブな条件下で高精度のフィルムを製造することも可能です。P 5000リアクターは、幅広いプロセス能力に加えて、完全に自動化されており、既存の製造ラインに簡単に組み込むことができます。P5000炉は広範囲の温度および圧力条件で動作することができます。チャンバー全体に均一な温度帯を備え、アクティブ冷却を利用してプロセス条件の均一性と安定性を確保します。それはまた直接プロセスまたは物質的な移動のための部品の容易な持ち上がることのための統合された持ち上がるシステムを提供します。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000 Reactorは、高度な半導体材料の加工と研究のために設計された先進的なプロセスツールです。高い沈着率、均一性、優れた運動制御を実現します。その大きい部屋のサイズ、低い熱質量、活動的な冷却および統合された持ち上がるシステムはそれを広い範囲の適用のために適したようにします。
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