中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9193401 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、高度なチップ製造、メモリデバイス製造、太陽電池製造など、さまざまなアプリケーション向けに設計された完全統合されたマルチチャンバーエッチング装置です。このシステムは、AMAT P-5000エッチングリアクター、PXノズル、船外用真空ユニットの3つの主要コンポーネントで構成されています。応用材料P 5000エッチングリアクターには、高度なプラズマおよび真空技術が搭載されており、正確な制御と処理パラメータの均一性を提供します。この原子炉は、効率的なプラズマ生成とパターンエッチング処理を可能にするトライトーラスチャンバー設計で構成されています。また、チャンバー全体の設計により、プロセス時間が短くて浅いため、高スループットのアプリケーションに適しています。このツールはまた、さまざまな処理可能なガスとガス混合物を提供し、さまざまな材料システムのエッチングを可能にします。PXノズルは、エッチングと蒸着の両方のプロセスのための資産の主要な配信モデルです。この配置は、プロセス開発と実行のための幅広い柔軟性を提供し、正確に制御された方法でガス、混合物、エッチング/蒸着材料の導入を可能にします。このノズルはまた温度および圧力制御、また原子炉の温度の監視および均等性を行います。これにより、重要なプロセス条件がチャンバー全体にわたって維持されます。船外真空装置は、スロットルバルブ、圧力トランスデューサ、高真空ポンプなどを搭載した外部システムです。このユニットは、チャンバー内の作業圧力の直接制御、高圧ガス導入、ガスの積み込みと配送、およびプロセスサポートを担当しています。これにより、作業基板の高速で効率的で信頼性の高い処理が保証されます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000リアクターは、高度な電子デバイス、メモリデバイス、および太陽電池の生産を正確に制御するように設計された高度なエッチング装置です。このツールは、高度なプロセス柔軟性、均一な処理パラメータ、高速で効率的な操作を提供します。この資産は、このように多様な材料システムのエッチングのための信頼性と効果的なプラットフォームを提供します。