中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9185355 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、化学蒸着（CVD）および原子層蒸着（ALD）用途向けに設計された高性能プロセスリアクターです。この低コストで高効率な装置は、優れた均一性、信頼性、再現性を提供します。銅、シリコン、タングステン、アルミニウムなどの材料の堆積用に設計されています。AMAT P-5000炉には垂直方向に整列した反応室があり、あらゆる用途で容易にアクセスでき、予測可能な結果が得られます。このコンパクトシステムは容易な集まっていることおよび維持のためのモジュラー設計と造られます。チャンバーは、ステンレス鋼の水冷ジャケットユニットで設計されており、周囲条件と真空条件の両方で動作することができます。反応チャンバーには、ステンレス鋼の化学蒸気噴射装置も内蔵しており、ユーザーはツール内のガスの化学組成を正確に制御することができます。自動蒸着バルブはチャンバー内に収容され、反応チャンバーへの化学蒸気の供給を調節する役割を果たします。このバルブは、直感的にプログラム可能なソフトスタート機構と調整可能なアクティベーションパラメータを備えており、ユーザーはアクティベーションパラメータを調整するだけで化学蒸気の流れを調整することができます。アプライドマテリアルズP 5000リアクターには、リフトアウトクォーツビュープレートも備えています。このプレートは、堆積プロセス中のコーティングの進行を検査するために使用されます。また、蒸着が完了すると、ビュープレートを使用して視覚検査を行うこともできます。P-5000原子炉には、強力で信頼性の高い電気資産が装備されています。このモデルは、プロセス原子炉の安全で正確な動作のために設計されています。電気機器は、システムの安全な動作を確保するために、内蔵の温度コントローラと熱電対やヒーターなどのさまざまな安全機能が含まれています。P 5000は、CVDおよびALDプロセスに最適です。このプロセスリアクターは、優れた均一性と再現性を提供し、信頼性の高い一貫した堆積結果を保証する、費用対効果の高い信頼性の高いユニットです。