中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9180686 を販売中
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販売された
ID: 9180686
PECVD System
Spare parts:
Qty P/N Description
Cabinet 1: Shelf 1
(2) 0020-10752 Pumping plate 4,5,6" silane/nitride
(0) - 5 Hole pumping ring
(5) 0020-09316 Plate, blocker 150 MM teos
(1) - Plate, blocker 150 MM Silane
(11) 0020-10771 Perf blate, 150 MM Oxide
(4) 0020-10119 Showerhead CVD nitride rounded shoulder
(1) 0020-10119 Showerhead CVD nitride beveled shoulder
(3) 0020-10941 Isolater, Teflon ring (Nitride)
(2) 0020-10941 Isolater, Teflon ring (TEOS)
Shelf 2:
(3) 0020-10059 Ring, wafer lift
(10) 3700-02455 I/O Door oring
(0) 0150-09389 Cable assy,heater liquid source
(1) 3700-01033 Manifold output plate
(3) AS-568A K121 Teos iso valve oring
(6) AS-568A K030 Teos iso valve oring
(1) FS-V11 Motion sensor
(2) FS-V12 Motion sensor
(1) FS-V31C Motion sensor
(1) FU-95 Motion sensor
(1) - Delrin, focus ring
(1) 0020-09885 Isolater, delrin ring
(9) 0015-09232 Adjustment screw
(1) - Ceramic, focus ring
(3) 0010-60011 Susceptor assy(teos)
(5) 0200-09021 Shield, 150mm
(0) 0200-10193 Nitride shield
(1) 0020-09604 Single cfg(gas block)
Shelf 3:
(5) 0200-09158 Heater window
(5) 0150-09097 Cable assembly for heater lamp
(17) 3690-03638 Set screw for lamp modules
(9) 3790-01219 Insulators for lamp modules
(277) 1001820 Ushio 1000w lamp
Shelf 4:
(3) 0010-09341 Wafer lift
(1) 0010- 30029 (Primex) p chuck lift rebuild
(1) 0010-09341 Wafer lift
(4) 0010-09340 Susceptor lift
(1) 0010-09340 Susceptor lift
(1) 0010-09750 Rf match
Shelf 5:
(1) 0140-09244 Teos ampule
(1) 0010-09237 Heater module,basic
(4) 3700-01739 Oring
(1) 3700-01120 Oring kit for robot
(2) Type 0536 TC
(4) 167cv75 Oring
(1) D009510059 Oring
(3) 275V75 Ceramic tube o-ring
(3) 884V75 Oring
(1) 265V75 Oring
(9) 233V75 Oring
Misc lift parts
Cabinet 2: Shelf 1:
(2) 0200-09664 Window slit,al203
(3) 0020-09545 Filter, slit-window, cvd
(0) 0030-00195 Large face seal
(0) SS-SVCR4 Metering valve
(9) - Teos board connector female 3 pin
(8) - Teos board connector male 3 pin
(7) 0020-30533 Screw susceptor
(1) 0240-76545 Isolation valve rebuild kit kalrez
(200) - 6-32 x 5/16 skt ni plated
(200) - 4-40 x 5/8 skt ni plated
(4) 3630-01017 E clips
(2) 0190-09454 Endpoint detector
(30) 0015-09329 Screw mach btn hd 6-32 x 3/8 hex skt sst
Shelf 2:
(0) SS-BNV51-C Nupro valve vcr f-f
(1) SS-4TF-VCR-40 Nupro bottom actuator
(2) 0020-10921 Spacer wafer/susceptor lift
(12) - Spacer wafer/susceptor lift
(1) 0200-09035 Solid state hard drive
(200) 3690-01092 Scrcap skt hd 10-32 x 3/8l hex skt sst
(4) 3880-01215 Flat washer for pumping plate assy
(48) 3690-01156 Blocker plate screws
(140) 3690-01083 4/40 screw for robot, doors, actuators
(2) 3880-01368 Wshr lkg split m10 7.9mmw x 2.2mmthk stl
(15) 0020-09843 Sleeve wafer lift pin
(19) 3690-01676 Screw mach shldr for ceramic shield on shower
(29) 0020-10722 Modified screw, perf plate, thin
(34) 0020-10721 Cover,screw,teflon thin perf plate
(0) 0020-10728 Clamp, shield 4,5,6"teos
(1) - Gas box oring kit
(5) 3880-01079 Wshr wave sprg .367od x .265id x .030fh
(2) 0015-76034 Mdfd cplg shaft jspdr 1/4 bore
(17) EV-SM24 Ev valves for hot box w/24" leads
(2) 0020-10482 Box,temp/level sensor
(2) 0190-13175 Light pens
Shelf 3:
(1) - Teos watlow controller
(4) 548201 Lid closed switch
(1) 4020-01061 Point of use filter
(6) 3300-01215 Ftg hose conn 1/16h 10-32m brs barb
(2) MCV-2 Check valve
(2) 0020-09882 Amorphous rf connectors
(1) 0010-09301 Cvd throttle valve
(5) 276V75 Oring
(5) 3700-01334 O-ring for gas box
(5) 3700-01329 Throttle valve assy o-ring
(1) 111V75 Oring
(6) 3700-01332 O-ring for gas box
(4) 3700-01739 Oring id 1.859 csd .139 viton 75duro brn
(1) 0020-09881 Adaptor manifold
(8) 109v75 O-ring
(4) 3780-01090 Spring for wafer lift or susceptor
(0) 0015-09056 Lift bellows
(3) 3080-01030 Timing belt for motor
(2) 0015-09055 Bellows assy susceptorhollow
(2) 0200-35525 Resistor, ceramic, near-net shape
(6) 0200-09025 Tube gas feed, quartz 6mmx6.38
Shelf 4:
(4) - Lift actuator
(5) 0090-09006 Slit valve actuator
(2) 0010-09022 Slit valve assy
(1) FC-7700CD 300 Sccm silane
(1) FC-7800 50 Sccm silane
(1) UFM-1100 1 Slm he
(1) FC7700CD 1 Slm o2
(1) FC7700CD 1 Slm c2f6
(0) FC7700CD 500 Sccm he
(1) - Universal chamber integrated pumping stack
(2) 0010-09174 Assy thrvl valve 200mm, downstr,vi oring
(1) 0010-09146 Assy,sil.thrvlv 100-125-150mm,downstr, v
(1) 0100-09094 Box heater control brd
(2) - Misc drive motors
Shelf 5:
(1) 0010-70395 Robot extension motor
(1) 0010-70394 Assy,rotation motor, 5000 robot
(1) - Monitor base assy.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、プラズマベースの高性能エッチングおよび成膜装置です。半導体製造工程向けに設計された先進的なオープンチャンバー工具です。このシステムは、3モジュールのチャンバーアセンブリと高速コンピュータ制御のデリバリーユニットを備えています。AMAT P-5000は、さまざまなエッチングおよび成膜化学物質を可能にし、最大の処理スループットを提供します。このマシンのチャンバーは、均一なフローティング誘導とマッチした基板加熱により、非常に高いスループットと高い均一性を提供するように設計および製造されています。フットプリントが小さいため、エッチング工程で簡単に統合できます。高圧チャンバーは10mTorrを発生させることができ、標準ポンピングステーションは50mTorrに維持されます。応用材料P 5000はAMATの高性能AMAT P 5000プロセスコントローラによって運転されます。これは、堆積パラメータとレシピの実行を正確に制御できるカスタマイズ可能な監視ツールです。資産はまた、様々な預金のための正確なプログラム調整を可能にします。AMAT P5000の自動ロードロックモデルにより、複数の基板を同時に操作することが容易になり、生産効率が向上します。P5000に必要な負荷ロック装置があります、手動材料交換のための必要性なしで急速な物質的な移動を可能にします。このシステムには、高速ロボット操作ハードウェアも含まれており、チャンバーからの材料の自動ロードとアンロードが可能です。アプライドマテリアルズ（APPLIED MATERIALS） P-5000、エッチングおよび成膜化学製品の範囲をサポートし、ウェーハ内とウェーハ間の両方で最大限のエッチング均一性を提供します。また、先進的なガス混合と配送を特徴とし、蒸着およびエッチングパラメータの精密な制御を可能にします。この機械の原子炉は、250kHzから1000kHzの周波数のプラズマを生成することができます。完全に自動化されたP 5000には、現場でのモニタリングと迅速なプロセス最適化のためのレシピ調整も含まれています。これにより、インプロセスフィルムのウェハレベル分析を即座に行うことができ、製造メーカはその場でプロセスを最適化することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000は、大量の半導体生産を可能にするように設計された先進的なプラズマベースのオープンチャンバー工具です。それに小さい足跡および優秀な沈殿の均等性およびスループットがあります。自動ロードロック資産と高度な監視および調整機能を備えたAMAT/APPLIED MATERIALS P-5000は、最高レベルの生産効率とパフォーマンスを実現します。
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