中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9171285 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、半導体プロセス用途向けに設計された最先端のエッチングリアクターです。マルチチャンバー、マルチモジュールエッチング機器で、お客様の個々のニーズに合わせて多目的かつ高度にカスタマイズ可能です。このシステムは、ユーザーがエッチングプロセスを最大限に制御できるように設計されており、厳しい生産管理と高速サイクルタイムを実現できます。AMAT P-5000は、ロードロック/ベントポートと1つまたは2つの処理チャンバで構成されています。ロードロック/ベントポートには、ユーザーが基板を導入して取り外し、ユニットを避難させ、プロセスチャンバーの圧力を制御できるさまざまな機能があります。プロセスガスは、ロードロックに組み込まれた高度なマニホールドマシンを介して供給されます。多様体は高圧ステンレス鋼から成り、複数の入口弁およびガスライン接続を含んでいます。工具の加工チャンバーには、チャンバーの壁の周りに配置された電磁力強化コイルアセンブリを備えた円筒形のボディ設計が施されています。これらの電子コイルは、均一で均一なプロセスプラズマを保証する強力な磁場と静電場の組み合わせを生成します。Eコイルはまた、チャンバー壁の自動クリーニングを提供し、プロセスの再現性が向上し、チャンバーのクリーニングサイクルが短縮されます。アプライドマテリアルズP 5000アセットは、プロセスチャンバーガスに幅広い単一のガスおよびガス混合物を使用しています。電力はRFジェネレータを介して供給され、電子ビームの流れを制御して均一で均一なプロセスプラズマを生成することができます。また、ユーザーは正確に周波数と電力を調整することができます。このモデルには、ユーザー固有のレシピとパラメータを提供する洗練されたソフトウェアパッケージが含まれています。これにより、正確な生産コストを継続的に監視し、関連するプロセスパラメータのデータロギングと分析を提供し、リアルタイムで動作します。このソフトウェアには、室内セキュリティシステムや圧力制限などの安全機能も含まれています。これにより、プロセス操作が安全で効率的かつ生産的であることが保証されます。全体として、AMAT P5000は非常に汎用性が高くカスタマイズ可能な高度なエッチング装置です。エッチング工程の比類のない制御を提供し、ユーザーは生産時間を改善し、歩留まりを最大化することができます。