中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9171283 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、半導体製造および研究用途に使用される高級リアクターです。直径12インチ(305 mm)までの寸法のウェーハを加工し、すべてのウェーハ表面に優れた温度均質性を提供するように設計されています。これにより、AMAT P-5000原子炉は、アニールおよび拡散操作、金属および酸化物の蒸着、アッシング、エッチング処理、およびプラズマ蒸着システムでの使用に最適です。APPLIED MATERIALTS P 5000は、強度と堅牢性と優れた耐食性とプロセスチャンバー耐久性を提供する固体ステンレス鋼から構成されています。これにより、長年の運用にわたって長寿命と精度が保証されます。これは、使用されるガスから粒子や異物を除去することを可能にするメッシュフィルターで、クリーンな操作を行うために構築されています。P-5000によって達成される温度の均質性は、均一な原子炉建設と4ゾーン加熱システムによって可能になります。これは、原子炉の周囲に加熱素子を向けることで、より大きな表面積を作り、より広い領域に熱を広げることによって機能します。これにより、正確な温度を維持することもできます。AMAT P 5000のユニークな設計は、優れた温度制御とウェーハ表面全体の熱の均一な分布を提供します。これにより、ホットスポットまたはコールドスポットが排除され、ウェーハが全体的に厳しい基準に処理されるようになります。さらに、P 5000は半導体産業の用途で要求される長いアニールと蒸着動作中の熱疲労現象にも耐えることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000のプログラマブルロジックコントローラ(PLC)モードは、ユーザーフレンドリーなインターフェースを提供し、システムの操作を簡単に制御および監視できます。これにより、温度、圧力、ガスの流れなどの設定を最小限に抑えて調整することができます。APPLIED MATERIALS P-5000炉は、堅牢な設計と優れた温度均質性に加えて、実験室や工業生産環境においても費用対効果が高くなります。エネルギー効率に優れた運転により、コストを削減しながら、プロセス全体にわたって厳しい品質仕様を維持することができます。
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