中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9169641 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、マイクロパターンシリコンウエハーをナノメートルレベルでエッチングし、洗浄するために設計された業界をリードする製造ツールです。AMAT P-5000は、精密パターニングだけでなく、ウェーハの構造化プロセスの高精度の微調整を可能にします。ディープエッチングやCMPからリソグラフィー、パルスレーザー蒸着（PLD）まで、幅広いプロセスやパターニング用途に対応できます。APPLIED MATERIALS P 5000は、高精度ベーキング機構と超高真空ポンピングを備えた強力で高圧のアルミニウム真空チャンバーを備えています。これにより、低圧プロセス環境を実現し、特定の温度を長期間持続させることができます。また、広範なクリーニングシステム、圧力計や緊急シャットオフなどの組み込みの安全機能、プロセスのパラメータを監視するためのデータ収集システムも備えています。アプライドマテリアルズP-5000リアクタには、必要なすべてのウェーハプロセス情報を含むプログラム可能なレシピファイルがあります。これにより、ツールは簡単にアプリケーションを切り替えることができ、望ましい結果を得るために迅速にレシピを構成することができます。さらに、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスにより、レシピファイルの設定、パラメータの制御、プロセス結果の監視が簡単に行えます。原子炉の高精度エッチング機能と強力な真空システムを組み合わせることで、ナノメートルレベルで優れた再生結果を得ることができます。スポットサイズが小さいため、小さな特徴を正確にパターン化するのに非常に効果的です。APPLIED MATERIALS P5000のウェットクリーンおよびドライクリーン方法は、ウェーハを損傷することなく洗浄および修復することにおいても幅広い機能を提供します。P5000は、最新のマイクロパターニング設備に不可欠なツールであり、最も要求の厳しいプロセスと製造ワークフローを満たすことができます。その精度、精度、汎用性により、プロセスの歩留まりを最大化し、コスト、エネルギー、時間を最小限に抑えて優れた結果をもたらすことができます。