中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9160448 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactorは、半導体材料の製造に関連する成膜およびエッチング工程用に特別に設計された生産ツールです。単層基板と多層基板の両方で様々な材料の薄膜を効率的に生産することができます。AMAT P-5000リアクターは、プラズマ強化酸化などのさまざまなプロセスで使用できる汎用性の高いツールです。物理的な蒸着；化学蒸着；エッチング；電極の製造；合金の成長；触媒の生産；薄膜成膜；そして研究及び開発。プラズマに対応したプロセスは、加熱された真空チャンバーを備えた垂直バッチモードのリアクタ環境、および垂直統合されたウエハステージとサポートサブシステムで行われます。APPLIED MATERIALS P 5000リアクターには、トップマウントされた高出力RFプラズマソースと、別のin-situ診断ソースが装備されています。この組み合わせにより、信頼性の高いプロセス結果に必要な温度、ガスの流れ、圧力、電流などの正確な物理パラメータを柔軟に取得できます。P-5000リアクターは非常に強力で耐久性のある石英ベルジャーを備えており、そのコンポーネントは幅広いプロセス条件のために構築されています。さらに、原子炉は回転して傾くことができ、取り扱いが容易になります。この特殊機能により、アプライドマテリアルズP-5000リアクターは、誘電体、レジスト、銅、接着強化処理などの成膜用途に使用できます。原子炉はさらに、チャンバー内のガス分布を正確に制御するために特別に設計されたバッフルシステムを備えています。このバッフルシステムは、蒸着の均一性を向上させ、薄膜層の総厚さとマスクの歪みを低減するのに役立ちます。AMAT P5000 Reactorには、ユーザーがさまざまなプロセスパラメータを選択して制御できるユニークなコンピューター制御システムも含まれています。このソフトウェアパッケージは、ウェーハのロード/アンロード、サンプルの特性評価および分析、プロセススケジューリング、および堆積条件のキャリブレーションを容易にするのに役立ちます。要するに、APPLIED MATERIALS P5000 Reactorは、薄膜と多層構造の正確な生産を容易にするように設計された高度な成膜ツールです。それは一貫した、信頼できる結果を提供する効率的で汎用性の高いツールです。