中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9153668 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）リアクターで、半導体、光学、生物医学デバイスを作成するために様々な組成の薄膜を堆積するために使用されます。この汎用性の高い機器は、低温から高温までの範囲で、さまざまな酸化物、窒化物、および炭化物の薄膜を堆積することができます。原子炉は、沈殿プロセスを作成するために、反応ガスのような働くガスで満たされた囲まれたチャンバーと堆積する材料を持っています。チャンバーはスピンオンウェーハホルダーに囲まれており、ウェーハ表面上のターゲット材料の均一なコーティングを可能にするために回転させることができます。チャンバー内には、ウェーハの成長のための2つの基板と、安定した成膜に必要なプラズマ形成を容易にするための電極とコンデンサがあります。マイクロ波電源を使用してプラズマを生成し、高速かつ効率的な堆積をもたらします。部屋圧力は調節可能であり、温度および沈殿時間は望ましいフィルム特性を達成するために調節することができます。また、RFフィールドを使用して蒸着速度を制御し、フィルム材料の厚さの範囲を堆積する機能を提供します。このシステムには、堆積中に得られたパラメータを測定するために使用されるアナライザのセットアップも装備されています。AMAT P-5000は、さまざまな材料の薄膜を堆積させるための信頼性と効率の高い原子炉です。調整可能な設定により、非常に困難な用途でも最適な成膜が可能です。さらに、機械はかなり安価でコンパクトで、商業および産業用に理想的な選択肢です。このように、アプライドマテリアルズP 5000は、半導体および光学産業のメーカーやその他の専門家の間で人気のある選択肢であり、さまざまな医療、航空宇宙、電子部品の開発において実績のあるワークホースです。