中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9153667 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、マイクロエレクトロニクス、ナノエレクトロニクス、データストレージ、およびオプトエレクトロニクス市場でさまざまな材料ウェーハをエッチングするために使用される業界をリードするエッチング装置です。これはAMATが提供するエッチングツールのフルスイートの一部です。これは、最高の信頼性、深いエッチング速度、広いプロセスウィンドウを提供するように設計されています。AMAT P-5000は、高アスペクト比エッチングを含む汎用エッチング用に設計されており、マルチレベル構造を正確に作成することができ、最も複雑な集積回路の複雑な構造化を可能にします。APPLIED MATERIALTS P 5000は、さまざまなエッチングレシピを通じて一貫したエッチプロファイルを提供することができます。この構成には、真空チャンバー、RF電源、プロセスガスコントロールユニット、およびアンテナまたは注入電極が含まれます。チャンバー内の大気圧は機械式ポンプとレギュレータで維持され、エッチングガスはガス処理システムを介してチャンバーに供給されます。マイクロ波で生成されたプラズマは、イオン、ラジカル、その他の活性化された種で構成されており、露出した物質のエッチング率を促進する高い帯電環境を作り出しています。アプライドマテリアルズP-5000は、プラズマの均一性を向上させ、エッチング時間を短縮し、スループットを向上させる変調電子サイクロトロン共鳴（MECR）パフォームを備えています。AMAT P 5000は、利用可能な最も先進的なエッチングシステムの1つで、さまざまなレシピと高性能を提供します。P5000は、シリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、フォトレジストなど、さまざまな材料でシャープで深いエッチプロファイルを生成するように設計されています。アプライドマテリアルズは、エッチング速度を正確に制御することで、より高速なリソグラフィとマイクロマシニングプロセスを可能にするP5000です。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000は、高度な光電化制御ユニットを備えており、制御エラーに対する迅速な応答を保証し、高精度のプロセス結果を維持します。さらに、P 5000には、プロセスの最適化と監視を容易にするリアルタイムのパフォーマンス監視および診断ツールが装備されています。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 reactorは、調整可能なプロセスパラメータ、高エッチング率、優れた均一性、および高速プロセス時間を備えた深い精密なエッチプロファイルを生成するように設計された高度なエッチングマシンです。