中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9148372 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 9148372
Epitaxial (EPI) reactors.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、半導体および電子デバイス製造に使用するために設計された高スループットおよび高効率熱炉です。AMAT P-5000にはトップローディング構成があり、基板のローディング、アンロード、メンテナンスに最大限のアクセシビリティを提供します。この原子炉はAMAT CleanOxide酸化技術を使用して、高効率、高均一性、超長サイクル時間を実現し、優れたデバイス性能を維持しています。APPLIED MATERIALS P 5000は、均質な酸化膜の成長を促進し、高品質の結果を維持しながらスループットを向上させるために、デュアルステージ酸化剤チャンバーを使用しています。また、フローコンディショニング装置を使用して、不均一性を低減しています。このシステムには、プログラマブルディスペンス、温度制御、およびローフローシャットオフバルブを含む高度なガス供給ネットワークが搭載されています。このディスペンスコントロールユニットは、プロセスの高速化と再現性の向上を支援し、優れた精度と信頼性を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000には、オンザフライパラメータ調整機能、現場測定およびフィードバック機能など、プロセスのスケーラビリティと堅牢性を向上させるための非常に魅力的な機能がいくつかあります。これにより、自動化されたストレスフリーな操作と最小限のダウンタイムが可能になります。さらに、APPLIED MATERIALS P5000は、優れた空気管理のための統合されたマルチポート排気機と、迅速かつ簡単な問題解決のための高度な診断パッケージを利用しています。この特徴の組合せは集積回路の製造にとって理想的である有効で、信頼できる熱処理装置を作成します。その他の機能としては、サイクル再現性を向上させるための拡張Autozone™モジュール、および優れたスループットレートを提供するオプションのウェーハハンドリングロボットなどがあります。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000は、半導体製造に最適化された汎用性の高い高性能反応炉です。
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