中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9145243 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、優れた精度と制御を提供するように設計された高スループット並列処理炉です。この汎用性の高い機器により、少量処理から大容量アプリケーションまで、幅広い課題に対応できます。その設計は、単一のプロセスチャンバー内の個々の「プロセスセル」の配列を組み合わせた革新的で独自のアーキテクチャに基づいています。AMAT P-5000のプロセスセルは、ロボットおよび熱管理システムを使用して、各セルの異なるプロセス条件の適用を制御し、ユーザーが簡単に再現可能で最適な性能を達成することができます。アプライドマテリアルズP 5000は、化学蒸着(CVD)、スパッタエッチング、物理蒸着(PVD)、熱蒸発など、幅広い蒸着および除去タスクを実行するように設計されています。これは、プリロードされたレシピの包括的なライブラリとユーザーフレンドリーなHMIタッチパネルを備えた機能です。オペレータは、P-5000内のさまざまなプロセス構成を簡単に設定でき、さまざまなプロセス・ガスや真空プロセスを使用して、さまざまなジョブの正確な要件を満たすことができます。応用材料P-5000の汎用性は、他の加工装置と比較して非常に際立っています。必要な特定のプロセスに応じて、最大8インチウェーハをさまざまな構成で処理できます。このシステムは、最適なプロセスパラメータを維持し、基板バッチ全体に非常に均一なプロセス結果を提供することもできます。さらに、AMAT P5000は信頼性と安全性のために設計されており、研究開発環境と生産環境の両方に適しています。AMAT P 5000は、幅広いアプリケーションに最大限のプロセス制御と精度を提供するように設計されています。インテリジェントプロセス制御(IPC)は、非アクティブなプロセスローミングを提供し、必要に応じて最適なプロセスパラメータを継続的に調整することができます。また、高度な環境モニタリングマシンにより、環境の変動がプロセスに与える影響を最小限に抑えることができます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000のリモート診断およびメンテナンス(RDM)により、ユーザーは操作を容易に可視化し、正確な予防保守データにアクセスできます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000は、多くの洗練されたプロセスを最適に実行するために不可欠なさまざまな高度な機能を提供する強力で汎用性の高い原子炉です。インテリジェントプロセスコントロールは優れたパフォーマンスを提供し、自動化された環境監視ツール、リモート診断およびメンテナンスなどの機能は、動的で信頼性が高く安全な操作を提供します。
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