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ID: 9096710
Lot of spare parts:
blade 0010 09027 2
adapter top 0020 30190 1
gas dristribution plate metal nc 1
RF matching unit (defect) 0010 30868 W 1
Uni insert gasdristribution 0020 10246 C 1
Insulator quartz 200 mm 0200 10073 1
Calibration / match maual controller box 1
Process kits nc 2
Metal ets chamber pedestal 0200 09216 1
Ring focus ECS 150 mm 0200 10265 A 1
Ring clamb vespel poly 150 mm 0020 30678-200 1
Pedestal 0020 03435 2
Pedestal gas distribution 0020 30815 2
Shell Assy 150 mm 0040 99952 3
PM-kit box 1
focus ring 0200 09744 1
ESC assy 150 mm 0041 34851 1
Shadowring quartz 0200 76068 1
Clamb ring 0020 30678 1
PCB cards box 1
Chamber gas distribution plates box 1
Spares box 1
bellows 0040-00103 2
valve pneumatic NW40 flange 3870-01244 2
bellow hollow 0015-09055 1
valve relieve nsw 18975 TA 3870-01129 1
valve nupro SC-01 6LVV-DPFR4-P-C 3
blade vacuum sense switch 0190-07003 1
stekker generator 0720-01502 1
wiring blade sensor 0140-00038 1
conn. Housing plug 6 position 0720-01805 2
valve relief 150 psi 3870-01062 2
relay solid state 240V/25A 1200-01034 1
relay solid state 240V/10A 1200-01016 1
spcr ff 1-032 thd 3/4" 3790-01203 1
cylinder assy, air 1 5/8 bore 0190-00173 1
CB mag 1 phase 120/240 VDC 15A 0680-01105 1
CNTR DI tank 1/2 mpt adpter 3250-01008 1
vave clippard W/conn 0190-09006 8
fuse dual time 8 A 32 V 0910-01075 4
fuse dual time delay 3 A 125 V 0910-01078 4
valve bellows 1/4 " VCO 2 way 3870-01262 1
filter inline gas STN 4020-01061 1
fil. Inl. Gas 1/4" VCR X 9/16 18 stt 4020-01060 0
valve shaft I/O 0020-09130 1
slite valve assembly 0010-09022 1
elbow gasinlet poly 0020-30356 1
valve door I/O 0020-09131 1
transistor tip 102 0140TIP102 3
switch atm vcr 0190-09365 1
filter UV endpoint 0020-32365 1
motor break assy cassette 0090-09010 1
vac flange softpump MXP+ 0040-32008 1
valve softpomp bypass 0010-10955 1
flange rough. Line bypass 0050-31240 2
valve nor-cal 3870-01455 1
strip, brkt oxide cathode 0020-09039 2
center finder board 0100-09060 2
buffer I/O board 0100-09009 1
card vme backplane 12 slot 0660-01041 1
PCB esc + eproms 0010-09937 1
PCB assembly mini AI/AO 0100-09022 1
VME CPU synergy up 0090-76110 1
0100-77014 1
Power supp. +5 / +15 / -15 /+24Volt 1
applied disk drive 20MB 3-1/2 0660-01054 1
fuse melf 1/2 A 0910-01255 18
fuse melf 1 A 0910-01256 15
fuse melf 2 A 0910-01253 20
fuse melf 3 A 0910-01277 13
fuse melf 5A 0910-01254 16
fuse melf 7A 0910-01287 16
board digital I/O 0110-11002 2
PCB RS232 communicatie 0100-09169 1
cable assy monochromator 0150-00259 1
board ctr match phase IV 0100-09156 1
endpoint interface 0100-00073 1
PCB assy helium flow 0100-09030 1
PCB dio fuse board 0100-09117 1
cable asembly 6 cond flex fl 0190-09066 1
Cables
harness assy current 0140-09220 1
assy cable RF 0150-09050 1
cable assy power harddisk 0140-00038 1
cable fiber optic 20 foot 0040-00456 4
cable PWR esc CTR 0140-00144 1
cable assy neslab 0150-76171 1
cable DI/DO 0150-10188 1
cable HD & FD scsi 0150-09889 1
cable assy isolat. 0150-09486 1
cable he-controller 0150-00254 2
cable fiber 6 foot 0040-00457 2
wiring assy receiver 0140-00046 2
DIVERSEN
Th. Couple susp. Assy TC probe 0190-09062 1
cilinder celvis cassette 0020-09251 1
window quartz 0200-09005 1
screw covers dpp HeWeb 0020-30357 11
screw mach skt HD 4 3690-01477 8
screw match skthd8-32 gdpheweb 3690-01458 20
bearing RLR 0.5 ID 0.688 OD 3060-01155 1
spcr shaft .370D 3790-01208 15
nut, finger BW 0020-30031 8
switch 75 torr VCR-4 0190-09133 1
screw 0020-42067 6
valve SS-BNV51-0 sc11 1
screw pan head 0020-30185 14
feedthru helium 2pass 0020-32141 0
flowmeter (water) 0-50 gph RMA-45-SSV 1
020-300000-A-LEO 4
020-300000-rev A 4
washer wave (t.b.v. robot arm) 3880-01079 13
pin adj. Clamp 0020-30033 8
screw 3690-02736 24
fliter slit window 0020-09545 3
screw match skthd8-32 gdpheweb 3690-01458 10
belt TMG pully 3 mm pitch 3610-01033 1
stdf 1/4 hexx 1/2 Al 3790-01267 2
connector strain relief cover 0720-01755 5
nut hex 8-32 X 1/4 3690-01661 4
pin adj. Clamp 0020-30033 8
washer bellivile spring 0015-09179 8
flat washer 3880-01004 12
screw SLTD pan HD#6-32X1/2 0020-10890 3
PALL filter GLFPF3000MFC9 4HS-K3305-1 1
scr BTN HD4-40 1/2 L clamp oxid 3690-01686 12
screw imbus 3690-01218 2
O-rings
oring 557.58 X 5.33 391 viton 16
oring 380.59 X 3.53 kalrez 281 kalrez 1
oring 221,84 X 3,53 269 viton 2
oring 215,50 X 3,53 268 viton 10
oring 177,40 X 3,53 262 viton 2
oring 152.70 X 2.62 163 nitile 20
oring 145.72 x 2.62 Vi (slitvalve) 10023407 5
oring 139.30 X 3.53 kalrez(slitvalve) 254 kalrez 5
oring 88,49 X 3,53 238 viton 4
oring 62.87 x 5.33 Vi 10023374 4
oring 53.70 X 1.78 135534 034 viton 50
oring 53.34 x 5.33 Vi 10023371 4
oring 50.17 X 5.33 329 viton 1
oring 44,04 X 3,35 3700-01040 1
oring 34,52 X 3,53 chemraz 0700-01536 1
oring 33 X 2,62 125 viton 4
oring 26,65 X 2,62 3700-01090 5
oring 12,29 X 3,53 206 viton 4
oring 11.8 x 2 esc heweb 3700-01542 1
oring 10.77 x 2.62 FPM 136492 15
oring 9.19 x 2.62 chemrez 1
oring 9.12 X 3.53 51414 204 viton 12
oring 8.92 x 1.83 kalrez 10022758 6
oring 7,60 X 2,62 109 viton 26
oring 7.59 X 2.62 chemraz 90 3700-01657 1
oring 5.94 x 3.53 kalrez 3700-01614 4
oring ID 8.237 C5D-103 gdp HeWeb 3700-01127 4
oring ID 7.734 csd.139 viton 75 3700-01056 2
oring ID 5.484 CSD 139 3700-01220 2
oring ID 3.737 csd.103 viton 75 3700-01605 1
oring ID 2.359 csd.139 viton 75 3700-01226 1
oring ID 1.174 csd.103 viton 75 3700-01174 1
oring 114 ID 0.070 viton 3700-01034 6
oring ID. 799 CSD viton 3700-01083 5
oring ID.674 csd.103 viton 75 3700-01095 4
oring ID.549 csd.103 viton 75 3700-01852 1
oring he-feethrough 3700-01262 1
oring quad ID.299 cs.103fkm viton 70 3700-01740 1
belt timing robot extension 3080-01030 5
belt timing RF match 3080-01035 6
belt timing RF match 3080-01006 14
belt timing trottle valve 4
bearing ball flg 1/4 ID 1/20 OD 1/8W SST 4 3060-01177 2
Spare parts chamber
resistor ceramic mod 0015-09042 2
6" flat shot shoe 0020-42198A 1
screw vespel 0020-09963 4
DC plugs grafit 0200-09366 6
lipseal small face 0020-09373 4
lipseal large face 0030-00195 1
Gasket, cu finger strip 3320-01018 2
CCP 1000W lamp clear fel 120V 10044068 1
poly-line green 3860-01058 20
poly-line blue 3860-01056 20
lift pin long 0020-34041 10
lift pin short 0020-34040 8
lift pin short adjustable 0021-09105 8
liftpin heweb conductive 0020-31633 2
liftpin heweb conductive long 0020-32164 2
Nut HEX jam 8-32 3500-01045 1
PCB assy opto switch 0100-09042 3
PCB limit detector 0100-00061 3
Sheet interface soft AL1100, .003 THK 0020-34316 1
Sheet interface soft AL1100, 0.0003 THK 0021-09059 1
Spare
Poly gas distr.plate 37 holes 0020-030815 2
insert SI-ring MXP+ 0200-35623 1
Pedestal 6" ext. WFA 0020-03435 2
Spare
shell assy 150 mm (ESC MXP+) 0040-99952 0
Spare POLY
quartz pedestal ring 6" 0200-09216 2
clampring poly 6" 0020-30678 2
focusring poly 0200-09744 1
Spare
pneumatic control bd 0100-09008 1
HOT EPD recessed double window DL50-A-389 3
houder dubbele epd window DL41-A-530 2
window flange 0020-09064 1
w Magnet drive assy 0190-70060 1
Grid small hole 992-70437 1
Adapter pumping plate center 0200-09135 1
liner, cathode aligned oxide 0021-09104 1
throttle MXP+ non heated 0010-10185 1
clamp cylinder 0020-30571 1
liner slit valve 0020-34696 1
external cover 0020-09368 2
quartz cover oxide 0020-09346 0
High efficiency RF matching 1
Losse onderdelen
top cover assy. Pos. A & D 0010-00512 1
gas distr MXP+ 88 hold, quartz 0200-10246 2
insulator quartz simple cathod 0200-10073 1
6" robot arm 0010-09027 2
quartz focusring MXP+ 0200-76068 0
wiring distr. Board 0100-09026 2
ring pedestal heweb esc 0200-09830 1
focus ring heweb esc 0200-10265 1
plate gasdistribution heweb 0020-30570 1
heating element 0190-09163 1.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、原子層蒸着（ALD）プロセス用に設計された高スループット、プロセス制御成膜チャンバーです。高性能、低コスト、高密度のデバイス層を高度な用途で生産するための貴重なツールです。これは、5。375リットルのプロセスチャンバーの容積を有し、堆積プロセスのパフォーマンスを向上させるために、4つの前駆体と2つのガスラインを装備することができます。これにより、高品質の様々な材料を正確な厚さと優れた均一性で堆積させることができます。AMAT P-5000は、プロセス要件に対応するために設定できるモジュラー機器です。それに0。3 mbarから3 mbarの処理圧力範囲、および-50°Cから180°Cの調節可能な温度較差があります。また、HLPC （High-Level Process Control）機能も備えており、限られたステップでコアプロセスを実装します。HLPCを使用すると、複数のプロセスを同時に実行でき、より高い生産率を実現できます。アプライドマテリアルズP 5000には、ALD Plenum Process Controlソフトウェアが搭載されています。このユーザーフレンドリーなソフトウェアは、ユーザーがリアルタイム診断を提供することにより、ALDプロセスのパラメータを調整して最適化するのに役立ちます。また、Advanced Oxide Controlは、蒸着均一性を向上させ、タイトな酸化物層の仕様を満たすことができ、処理工数を削減することでコストを削減することができます。P 5000リアクターは、安全な動作環境を確保するために、幅広い安全機能を備えて設計されています。これは、環境とすべての人員を安全に保つ内蔵の火災および爆発抑制ユニットを持っています。このマシンはまた、同時に加熱されたサーフェスと安全な環境を提供する多層タッチペインを備えています。APPLIED MATERIALS P5000は、ユーザーが多種多様な材料の精密な堆積を達成することを可能にする信頼性の高い、費用対効果の高い原子炉です。このツールは、小規模および生産量の両方の蒸着に適しており、高度なアプリケーションのための優れた高密度材料を効率的かつコスト効率よく生産するための優れたツールです。
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