中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9096152 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、プラズマ蒸着用途向けに設計された専用原子炉です。この原子炉は700°Cまでの温度で基板を処理するように設計されています。プラズマ蒸着技術の最新技術を活用し、最高品質の薄膜アプリケーションを提供します。AMAT P-5000は、誘電体から半導体、金属まで幅広い材料に対応できるように設計されています。原子炉室は真空密封されており、独立に制御された2つの可変真空ポートで構成されています。これにより、材料は10-7 Torrの超高真空で処理することができます。また、ポートにより、堆積中のプロセスパラメータをより制御できます。このチャンバーはまた、プラズマ源が大きく、プラズマ密度の広い範囲を可能にし、幅広い堆積要件を可能にします。電源/コントローラにはプラズマ監視システムが内蔵されており、シングルパルス、バーストパルス、パワーブーストモードなど、さまざまな電源プロファイルを提供できます。プラズマ堆積物のエネルギー要件を制御するシステムもあり、堆積プロセスを優れた制御が可能です。さらに、in-situ光エミッタと検出器システムは、プロセスの詳細な観察を可能にします。アプライドマテリアルズP 5000は、プラズマ蒸着のための高度で高効率なツールです。特徴の組合せはユーザーが堅いプロセスパラメータを用いる質のフィルムを作り出すことを可能にする沈殿プロセスの優秀な制御を提供します。その高い柔軟性により、幅広い用途に適しており、堅牢な構造により、メンテナンス要件を最小限に抑えた過酷な産業環境で使用できます。