中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9093623 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、高水準の基板平坦性と表面平滑性を提供するように設計された化学機械研磨（CMP）炉です。高度な製造技術を使用して開発され、さまざまな製造要件に適合するように設計されたAMAT P-5000炉は、さまざまなCMPプロセスのための信頼性と信頼性の高いプラットフォームです。APPLIED MATERIALTS P 5000リアクターは、最大450mmの直径ウェーハの大規模な基板加工を可能にする、利用可能な最大の研磨チャンバーのフットプリントの1つを備えています。この原子炉は、さまざまなプロセス化学物質を処理することができ、高圧研磨により表面粗さを低減します。P 5000は、洗浄結果を向上させるための強力なスラリー濾過機能と、効率的な基板処理のための組み込みの治具を備えています。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000リアクターは、既存のプラントワイド制御システムと容易に統合できます。アプライドマテリアルズP5000リアクターの設計は、最新のCMP技術を統合してパフォーマンスを最大化します。リアクターは、removaUeと確実に密閉された研磨室の設計を特徴とし、複数の研磨ステーション間で自動的にウェーハを移動するロボットアームを備えています。これにより、AMAT P 5000は従来のCMPリアクタと比較して高い生産効率を達成し、均一な基板研磨結果を維持することができます。さらに、APPLIED MATERIALS P-5000は、クリーンで効果的な基板研磨のための高度なperfluoropolyether （PFPE）ベースの研磨パッドを備えています。P5000炉の堅牢な設計に加えて、さまざまな高度なプロセス制御技術もシステムに統合されています。これには、CMPプロセスのリアルタイム光学ユニット監視、オンザフライのプロセスパラメータ調整、予測保守診断、自動ウェハハンドリング、プロセス履歴データベースログなどが含まれます。これらの自動化されたプロセス制御技術を活用することで、AMAT P5000は一貫したプロセス結果をスピードと歩留まりで提供することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000原子炉は、高品質の結果と生産設定で信頼性の高い動作を提供するように設計されています。最高レベルのパフォーマンスを確保するために、P-5000は、特定のアプリケーション要件に合わせてカスタマイズするためのさまざまなパフォーマンスチューニングパラメータを活用することができます。さらに、原子炉には生産性監視ツールの包括的なセットが含まれており、機械の性能を包括的に把握できます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、さまざまな製造要件のための効率的で一貫した基板研磨性能を可能にするさまざまな機能を備えた信頼性の高い堅牢なCMPプラットフォームです。AMAT P-5000は、高水準の基板平坦性と表面平滑性を達成するための信頼性と信頼性の高いツールです。