中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9092874 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、先端材料のプロセス開発、共同開発、生産のために設計された高温炉です。このシステムは、完全に自動化された高効率な方法で化学蒸着（CVD）および化学機械研磨（CMP）プロセスを実行することができます。この原子炉は、最高レベルのプロセス制御と歩留まりを提供するために、CVDとCMPの最新技術を利用しています。AMAT P-5000は、基板のローディングとアンロードのための3つの対応するスライスを収容する、垂直原子炉室で設計されています。アプライドマテリアルズP 5000の垂直設計により、同じプラズマチャンバー内で幅広い基板材料をサポートし、処理することができます。APPLIED MATERIALS P5000のプロセスプログラムは完全に自動化されており、洗練されたレシピで動作するように設計されており、最適かつ再現性の高い堆積と研磨プロセスを可能にします。特別に設計されたマルチガス配送システムにより、CVDプロセス中のガス配送を正確に制御することができ、プロセスの制御と品質が向上します。材料要件に応じP-5000、最大3つのリアクタントガスと1つのパージガスを同時に適用できます。P5000は500°Cまでの温度でCMPプロセスを実行することができ、基板表面全体に均一な基板温度があります。独自の水流システムにより、信頼性の高い効率的なCMPプロセスが実現され、独立した居住時間管理によって最適化された均一な処理プロセスが保証されます。AMAT P 5000は、標準通信プロトコル（SCPI）などの通信インタフェースで動作する高度な自動化機能に長けています。また、CVDおよびCMPプロセスのリモート診断およびオンラインモニタリングをサポートし、リアルタイムのプロセス監視と調整を可能にします。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000は高い生産性と歩留まりのために設計されており、先端材料の自動生産に適しています。精密なプロセス制御、高度な自動化機能、高温CMPプロセスなどの機能を備えたAMAT P5000は、高品質の先端材料を製造するための堅牢なソリューションを提供します。