中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083283 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactorは先端材料およびフィルムの沈殿のために設計されている最先端の装置です。電子ビーム強化化学蒸着（EBCVD）を利用して、電子ビームのエネルギーを利用して基板上に複数の薄い層を積層し、反応する反応性ガス分子を原子に分解して被覆する化学プロセスです。AMAT P-5000はシングルウェーハ13。56MHz RFジェネレータ駆動管状原子炉です。均一な成膜のための高密度プラズマを備え、幅広い先端材料成膜用途に適しています。このシステムには、蒸着速度制御用のデュアルゾーンホットウォール電子ビームガンと、蒸着速度と均一性を向上させるEnhanced Power ARC+機能が含まれています。高められた熱トンネルの特徴は基質全体の高温均等性を可能にします。クールウォールのRF制御クォーツプロセスチャンバーは、5インチおよび7インチのウェーハポッドと4インチのオプションを備え、迅速なウェーハチェンジアウトを提供します。このユニットは、幅広い材料および成膜技術をサポートするように設計されているため、柔軟な成膜を提供します。例えば、金属化、CMP、酸化/窒化などです。スライド式の大型低メンテナンスEビームソース保持器により、迅速かつ簡単なメンテナンスが可能で、時間とコストを節約できます。また、蒸着プロセスを制御するための高度なインタフェースを提供し、蒸着出力、ウェーハ温度、およびその他のパラメータの優れた監視を提供します。応用材料P 5000リアクターは、安全性とユーザーの利便性を念頭に設計されています。このツールの安全機能には、酸素とガスの遮断資産、クリーンルームのアクセス制御、リモート監視およびアラーム機能が含まれます。さらに、このモデルは多数の蒸着アクセサリと互換性があり、ロードロック、ワークステーション、ダミー基板などのコンポーネントを容易に統合できます。全体として、AMAT P5000 Reactorは、高度な材料蒸着のための信頼性の高い汎用性の高いプラットフォームを提供します。高性能な機能と使いやすさにより、高品質の堆積システムをお探しのお客様に最適なソリューションを提供します。