中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9083278 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、高度なプラズマ強化化学蒸着(PECVD)リアクターで、様々な表面処理において正確な温度制御、超高速材料の蒸着、蒸着プロセス制御を提供するように設計されています。AMAT P-5000は、薄膜成膜、表面機能化、表面工学、半導体加工などの用途に最適です。アプライドマテリアルズP 5000は、チャンバー、基板、ターゲット材料の温度を正確に制御できる革新的なデュアルゾーンプラズマソースを備えています。精密な温度制御により、最小限のストレスで高速で再現性のある蒸着速度を保証します。P5000はまた、プラズマエネルギーの正確な制御を提供します。これにより、ターゲット表面全体にカスタマイズされたエネルギー分布が可能になり、堆積プロセスがさらに強化されます。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000は、導体と非導電材料の両方を乾式または湿式のいずれかの構成で堆積するために使用できます。低圧から超高圧まで調整可能で、蒸着プロセスを正確に制御できます。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000はまた、複雑な構造の製造を可能にする大きな基板面積を備えています。APPLIED MATERIALS P-5000には、さまざまな高度な診断とプロセス制御が組み込まれています。このプローブ装置を使用すると、蒸着プロセス中の反応イオンエッチングを分析および監視することができます。分析システムは、堆積プロセスのリアルタイム監視だけでなく、診断と制御の生産を可能にします。プロセス制御モジュールは、リアクタのパラメータを迅速に調整することができ、ユーザーは外出先でプロセスを変更することができます。また、AMAT P5000には、ウェーハの搬送・自動加工が可能な自動バスウェーハ搬送ユニットを搭載しています。この機械はまたより大きい直径か厚さのウエハを扱うことができます。バスツールは、ウェーハを自動的に洗浄して洗浄し、安全性を高めることができます。AMAT P 5000は、精密な温度制御、高速蒸着速度、高度な診断およびプロセス制御機能をユーザーに提供するため、高精度の蒸着および表面エンジニアリングアプリケーションに最適なソリューションです。
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