中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9081365 を販売中
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販売された
ID: 9081365
ヴィンテージ: 1994
System
(2) Chambers
Process: SIO2-depos/SiN depos/ BPSG
Chemicals:Silan/N2O/NH4,PH3,C2F6,B2H6
(1) Pump
(1) Chiller
Software Rev.: B5.01C
CE Marked: no
(3) 208V
1994 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、薄膜磁気記録媒体の製造に使用される高度な生産スケールのエッチングリアクターです。この装置は、パターンを高精度で精度の高い薄膜材料にエッチングするように設計されています。AMAT P-5000は、薄膜材料を効果的にエッチングするために、さまざまな技術を利用しています。アプライドマテリアルズP 5000は、イオンビームエッチング(IBE)と無線周波数(RF)エッチング技術を組み合わせて、望ましい結果を達成します。イオンビームエッチングは、加速されたイオンのビームを利用してパターンを薄膜材料にスコアリングし、RFエッチング技術を使用して、単一/複数のイオンビーム露光内のより正確な集中プロファイルを可能にします。両方の技術は、最大の結果と精度のためにP 5000で組み合わされています。APPLIED MATERIALS P-5000は、薄膜材料のエッチングおよび露出プロセスを正確に制御するためのプログラム可能な組み込みAC駆動モータも内蔵しています。このモータは、薄膜材料のビーム配置と露出を制御するために使用されます。AC駆動モータは、ステージの動きを制御し、イオンビーム源と露出領域を収容するトラックも制御します。これにより、薄膜材料が必要なイオンビーム露出の正確かつ正確な量にさらされることが保証されます。AMAT P5000は、イオンビームエッチングプロセス全体を監視、操作、制御するのに役立つ高度でユーザーフレンドリーなソフトウェアも備えています。このソフトウェアは、ユーザーに明確なプロセス制御インターフェースを提供するように設計されており、薄膜材料のエッチングのパラメータを監視および設定できます。ソフトウェアはまた、エッチング処理中に発生する可能性のあるエラーや問題のエラー監視とアラームシステムを提供します。最後に、P5000には、最大限の使いやすさと保護のためのさまざまな安全機能も含まれています。複数のインターロックから高度なモニタリングシステムまで、アプライドマテリアルズP5000はエッチング操作を行う際に高い安全性を提供します。これらの機能により、エッチング操作が正確に実行され、安全かつ効率的に完了することができます。結論として、AMAT P 5000は薄膜磁気記録媒体の製造用に設計された高精度の生産スケールのエッチングリアクターです。イオンビームエッチング技術と無線周波数エッチング技術を組み合わせたP-5000は、精度と精度で薄膜材料をエッチングするための理想的なツールです。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000には、プログラム可能な組み込みAC駆動モーター、高度なユーザーフレンドリーなソフトウェア、およびオペレータの保護と快適性のための多数の安全機能が含まれています。
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