中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9056845 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、高度な半導体メーカーが集積回路の製造に使用する高性能エッチングリアクターです。最新の集積回路のマイクロナノ構造のスケーリングに関連する問題に対処するために設計された高圧高温エッチング炉です。AMAT P-5000は、デュアル周波数のウェーハチャックを使用して、ウェーハを個別に配置してクランプします。これにより、より効率的で正確なエッチング処理が可能になります。また、エッチングプロセスを精密に制御するマルチトーン・オブ・フライト・マス・スペクトロメータ（TOFMS）を搭載しています。これにより、エッチング成膜がナノメートルレベルで制御されます。APPLIED MATERIALS P 5000は、高効率RFジェネレータとRF電源も採用し、エッチング工程での電力損失を大幅に低減します。AMAT P5000は、高度な自動化システムを使用して、エッチングプロセスを正確に監視します。これには、加工中のエッチングを直接可視化するための高精細デジタルカメラや、エッチング室やウェハチャックの動きを正確に制御するためのハイエンドビジョンおよびガイダンスシステムが含まれます。さらに、エッチング製品の精密かつ正確な分析のために、精密なデータ収集と処理システムを利用しています。P 5000には、赤外線、紫外線、可視分光、イメージング、パーティクルカウントなどのセンサー技術が搭載されています。これにより、エッチング製品の迅速かつ正確な特性評価が可能になります。さらに、エッチングチャンバーには超高速温度測定も装備されており、チャンバー温度を正確に制御できます。APPLIED MATERIALS P5000は、高度な半導体製造に最適な高性能エッチングリアクターです。高度な自動化と精密な制御機能を備えており、費用対効果の高い正確な集積回路の生産を可能にします。