中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9040992 を販売中
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ID: 9040992
CVD TEOS, 4"
Model: ON-BD TEOS STAN
Twin chamber
Ancillaries
Steel-framed ancillary stand
(2) vacuum pumps
Stored in cleanroom.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、高度な半導体アプリケーションで優れたプロセス性能と信頼性を実現するために設計された次世代の高性能プラズマ炉です。高密度プラズマ(HDP)原子炉としても知られるこのタイプの原子炉は、磁気的に強化されたプラズマを利用して、堆積率、薄膜層の均一性、誘電体および金属蒸着特性を改善します。AMAT P-5000 HDPリアクターは、次のような半導体産業におけるデバイスと材料の革新のための貴重な資産となる多くの重要な機能を誇っています。この機能は、ウェーハ上の材料の再現性と正確な堆積に不可欠です。低温動作:APPLIED MATERIALS P 5000は低温動作範囲を備えており、標準および低kデバイスの製造とのより高速な成膜と高い材料互換性を実現します。高精度温度制御:P-5000の温度精度をさらに向上させるために、原子炉は高精度温度制御システムを使用して、材料の正確で繰り返し蒸着を保証します。複数の基板互換性:この原子炉は、誘電体と金属を含む材料の両方の優れた蒸着を可能にする、様々な基板材料との高い互換性があるように設計されています。高密度プラズマ:P 5000 HDP反応器は、磁気的に強化されたプラズマを利用して、蒸着速度、薄膜層の均一性、および誘電/金属蒸着特性を向上させます。リモート診断:このリアクターはリモート診断機能を提供し、リアルタイムでオンサイトのトラブルシューティングとマシンのメンテナンスを可能にします。APPLIED MATERIALS P-5000 HDPリアクターは、半導体産業において優れた堆積と材料革新を行うことができる強力な次世代リアクタです。磁性的に強化されたプラズマを追加することで、沈着速度、均一性、および材料の互換性が向上し、AMAT/APPLIED MATERIALTS P 5000はさまざまな基板上の材料の精密かつ再現可能な処理に理想的です。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000 HDPリアクターは、低温動作、正確な温度制御、遠隔診断機能を備え、優れた性能と信頼性を提供する強力な原子炉です。
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