中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9037975 を販売中
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ID: 9037975
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
PECVD System, 8"
Process: SA-BPSG
TEOS with (3) CVD Chambers
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、優れた自動化とプロセス制御機能を提供する化学蒸着（CVD）プラットフォームです。AMAT P-5000には、プロセス制御とチャンバ制御サブシステムが自動化されており、高速で再現可能で安定した高温蒸着が可能です。この機能により、表面特性、膜厚、均一性、および優れたプロセス歩留まりの制御が可能になりました。応用材料P 5000は金属、金属合金および金属酸化物の層に、またカーボン、ケイ素の酸化物、または窒化ケイ素の沈殿のような障壁の層の適用のために利用することができます。原子炉は1200°Cまで達することができる高温範囲があります。このシステムは、LPCVD（低圧、化学蒸着）とPECVD（プラズマ強化CVD）の両方をサポートしています。この原子炉は、自動化されたプロセスコントローラ、2段ターボ分子ポンプ、複数のガス流量コントローラ、およびマスフローコントローラを備えています。APPLIED MATERIALS P-5000は、蒸着プロトコルを正確に制御し、エッチング、アニーリング、酸化物蒸着、金属リフトオフなどの高度な基板処理を可能にします。また、優れた表面仕上げと強化された地形を可能にする様々な高度な研磨技術が含まれています。システムは既存の生産環境と容易に統合でき、時間と費用対効果の高い効率的なソリューションを提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000は、高品質のフィルムと基板を製造することができる、堅牢で信頼性の高いシステムです。その自動化機能とプロセス制御機能は、高精度オプティクス、マイクロエレクトロニクス、およびその他のコンポーネントの製造において非常に貴重であることが証明されています。メンテナンス性が低く、使いやすく、研究開発室や製造現場での使用に最適です。
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