中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9005018 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、様々な先進的なアプリケーションで材料の均一で再現性のあるエッチングを提供するように設計されたプラズマベースのドライエッチング装置です。表面洗浄、層エッチング、誘電エッチングなどのエッチング関連プロセスを高速かつ信頼性の高い方法でサポートできるシングルウェハマイクロリアクタです。AMAT P-5000は、マイクロリアクターとして、複雑なパターンや複雑なデバイス構造を高均一性と再現性でコスト効率の高い生産を容易にします。具体的には、深さ10ナノメートルまでの超薄型デバイス機能の効率的な生産を可能にし、2ナノメートル未満のランツーラン変動を実現します。このレベルの制御は、アプライドマテリアルズP 5000のプラズマベースのドライエッチング技術によって可能になります。P 5000は、低温で冷却されたプラズマ源、ドライブスコープマッチネットワーク、およびelec-scope電源を利用して、不純物を含まない安定したエッチングプラズマを生成および維持します。これらのコンポーネントを組み合わせることP5000、ボトムアップエッチングの均一性と高精度なフィーチャーパターニングを実現することで、デバイスの歩留まり向上とコスト削減につながります。AMAT P 5000は、シングルウェーハおよびカセット/クラスタ構成にも対応しており、シリコン、ゲルマニウム、ガリウムヒ素、アルミニウムなどの幅広い材料の交渉が可能です。これは、簡素化されたチャンバーとモジュラー設計と組み合わせて、コストを削減するための理想的な選択肢となります。さらに、統合Vacシステムのような安全機能がP-5000に組み込まれており、望ましくないガス漏れの可能性を排除しながら、安全で管理された作業環境を確保します。同様に、このユニットは機械監視、プロセス制御、自動レシピ構築機能も備えています。結論として、APPLIED MATERIALS P5000は革新的で直感的なマイクロリアクターであり、様々な先進的な用途における材料の効率的かつ正確なエッチングを可能にします。その均一で再現性のあるエッチング機能と高精度の機能パターン、および信頼性の高い安全機能により、高品質のパフォーマンスを求めるあらゆる組織にとって非常に有能で費用対効果の高い信頼性の高いツールとなります。