中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293823309 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、AMAT、 Inc。によって設計および製造されたマルチマグネトロンRFパラレルプレート容量結合プラズマ（CCP）原子炉の一種です。この高度な原子炉は、エッチング、蒸着、半導体デバイス製造など、さまざまな高密度プラズマ（HDP）プロセス技術に使用するために設計されています。研究および商業用途で一般的に使用される原子炉は、幅広い材料タイプの高スループット、精密かつ再現性のある処理が可能です。これにより、従来の方法よりもコスト削減が可能になり、結果の一貫性が保証されます。AMAT P-5000炉は、RFパワーモジュール、メインチャンバー、ポンプを備えた3つのチャンバー装置です。RFパワーモジュールには、メインRFジェネレータ、マッチングネットワーク、最適化されたインピーダンスチューナー、およびその他の電気機器が含まれています。アンテナから送信機への信号にマッチするマッチングネットワークは、RFジェネレータからの出力を保護し最適化します。この要素は、一貫した予測可能なRF電力を保証するため、特に重要です。最適化されたインピーダンスチューナーは、オンザフライチューニングに使用できるオートチューナー機能を備えており、処理中にアンテナに最大限の電力を供給するために使用されます。APPLIED MATERIALS P 5000リアクターのメインチャンバーには、ソリッドステートアンテナアセンブリが収納され。このアセンブリは、3つの独立したスタンチオンに取り付けられた3つのコイルで構成されており、チャンバー内のプラズマを表面全体をカバーしながら伝搬するように設計されています。コイルの精密配置と平行プレートの使用により、アンテナは非常に薄いプラズマでも高密度プラズマを生成します。アンテナ場の強度を調整してプラズマの強度を増減させることができ、蒸着、エッチング、接合などのプロセスを制御して行うことができます。主要な部屋はまた部屋に複数のガス種を注入し、混合できるガス配達システムに家である。このガス供給ユニットは、プラズマ処理が可能な均質で安定した環境を作り出すように設計されています。さらに、APPLIED MATERIALS P-5000のメインチャンバーには、さまざまな航空宇宙グレードの材料と断熱材があり、高品質の建設と耐久性を確保しています。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000リアクターのポンプ機は、プロセスが完了した後、チャンバーから粒子やガスを除去する責任があります。ポンプツールは、適切なガスと粒子ポンプがなければ、再現性とプラズマ損失が限られているため、原子炉の最も重要なコンポーネントの1つです。ポンプ資産は高度であり、粒子の調整可能なポンプ速度と速度制御、および異なるポンプ速度のための複数のガス制御弁が含まれています。P 5000リアクターは、実験と生産プロセスを念頭に置いて構築された高度な処理モデルです。強力なRFパワーモジュールと最適化されたインピーダンスチューナー、マルチマグネトロンアンテナ、および高効率のガスおよびパーティクルポンプ装置を備えたAPPLIED MATERIALS P5000は、従来の方法のほんの一部のコストで一貫した高品質の結果を生み出すことができます。さらに、原子炉は特定のプロセスに簡単にカスタマイズすることができ、多くの研究および商用アプリケーションで使用するための最適な選択肢となります。