中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293772866 を販売中
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ID: 293772866
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1995
PECVD System, 6"
(2) AC Rack generators
Heat exchanger
(2) Chambers
Loadlock
Monitor
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、金、銅、アルミニウムの成膜に使用される高度な成膜ツールです。AMAT P-5000は、ナノ構造の製造、薄膜金属化、およびその他の太陽光発電デバイスの開発など、様々な蒸着アプリケーションに適しています。応用材料P 5000プロセスチャンバーは、最大5 mTorrの圧力範囲と最大950°Cの温度範囲で動作します。また、プロセスガスフローを正確に監視および制御するためのマスフローコントローラ（MFC）も備えています。また、P 5000は、ユーザーが各アプリケーションの特定の要件に合わせて機器を調整することができるカスタマイズ可能なオプションの数を提供しています。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000は、直感的なユーザーインターフェイスを介してシステムを管理できるオンボードコンピュータによって制御されます。また、堆積プロセス中のデータ収集とプロセス監視を可能にし、ユーザーに詳細なプロセスレポートを提供します。このユニットは、安全な動作と最適なプロセス制御を保証する安全機能を備えています。アプライドマテリアルズP-5000は、精密なプロセス制御を保証するために設計された幅広い機能を提供します。工具内部の温度を一定に保つための熱管理機を備えており、また、プロセスガスによる汚染リスクを低減するためのケミカルドアを装備することができます。さらに、APPLIED MATERIALS P5000は、遠隔からプロセス条件を監視するためのリモートモニタリングおよび制御アセットと、さまざまな範囲の真空プロシージャを容易にするための調整可能な上部電極を備えています。P-5000炉は、幅広い蒸着用途に対応する信頼性が高く、堅牢で効率的なツールです。金、銅、アルミニウムに加えて、チタン、シリコン、窒化物などの他の材料の堆積にも使用できます。その汎用性と高度な制御モデルは、ナノ構造、太陽電池、薄膜金属化およびその他の先端材料の製造に理想的な選択肢となります。
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