中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293729490 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、高度な材料合成、成膜、エッチング処理を行うように設計された商業グレードの原子炉です。複数のウエハを並列処理できる二元誘導結合プラズマ（ICP）リアクターで、大容量の基板の製造に最適です。AMAT P-5000で使用されるICPソースは、13.56MHzまたは27.12MHzのいずれかで動作し、幅広い材料、プロセス、およびアプリケーションとの完全な互換性を可能にします。また、プロセスのパフォーマンスを監視するためのフルスペクトルの現場監視機能も含まれています。ICPソースは、1000Cのように高い温度に達することができ、さまざまな高温プロセスを可能にします。アプライドマテリアルズP 5000は、プロセス制御を最適化するように設計されており、ダイレクトプロセス制御（DPC）体制とフィードバック体制の両方を提供します。DPCモードにより、調整可能なガスの流れ、圧力、形状、および環境条件を可能にし、優れたプロセス制御性を実現します。フィードバックモードにより、装置をプロセス条件の変化に素早く適応させることができ、プロセスパラメータを迅速かつ正確に最適化することができます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000は、高度な自動ウェハ転送システムを使用して、最大24個のウェハを並列処理し、高スループットを実現します。ローカライズされたin situモニタリングユニットは、蒸着およびエッチングのプロセス条件をリアルタイムで監視し、オペレータにプロセスをより制御することができます。P-5000はまた、高度なクリーンチャンバー設計と優れた化学管理機能を提供し、化学物質の流れと測定を正確に制御する自動機械を備えています。これにより、信頼性の高い安定したプロセスウィンドウが保証されます。これらの機能により、APPLIED MATERIALS P-5000大量生産環境に最適であり、優れたプロセス歩留まりと優れたプロセス性能を提供します。