中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293729488 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、さまざまな用途に使用される特殊な半導体ツールです。プラズマエッチング、成膜、洗浄など、さまざまなプロセスに柔軟に設定できるユニークなプラットフォームです。このツールは、ステンレス製の真空チャンバーで構成されています。チャンバーは、動作中に安定したベースレベルの条件を確保するために、シュラウド部品によって熱的および振動的に絶縁されています。チャンバー内にある上部テーブル装置には、電源に接続されている電極とウェーハホルダーが収納されています。ウェーハホルダーは、デュアルウェーハホルダーで最大2つのウェーハをサポートできます。電極はウェーハ表面上に吊り下げられ、ウェーハ上の均一なプラズマ負荷を保証します。AMAT P-5000 Reactorは、ガスパネルとマニホールドを含むガス供給システムを使用して、必要なプロセスガスでチャンバーを構成します。再循環ユニットにより、製品の汚染を防ぐために、チャンバーはバックサイドのアウトガスの低レベルを維持することができます。ユニークなHEPAのろ過機は、空気中の粒子を減らすために組み込むことができます。ツールのベースにあるレシピマネージャは、プロセスのさまざまなレシピと設定を制御する責任があります。すべての温度、圧力、およびプラズマ設定を調整して、それに応じてスループットと歩留まりを最適化できます。APPLIED MATERIALTS P 5000リアクターは、多くの高度な集積回路処理戦略のための信頼性の高い作業場です。カスタム構成の柔軟性と容量により、幅広いアプリケーションに効果的なツールとなります。独自の設計により、プロセスエンジニアは最新の加工技術を活用して、競争力のあるスループットで高い歩留まりを達成できます。