中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293690471 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、窒化物、酸化物、金属などの無機材料のエピタキシャル薄膜沈着をサポートするように設計された垂直熱処理炉です。AMAT P-5000のユニークな設計は、高性能、高純度、低粒子汚染炉チャンバーに基づいています。この高信頼性炉は、設計の柔軟性に加えて、優れた薄膜処理を提供します。応用材料P 5000は、原子層成膜（ALD）、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）など、さまざまな蒸着プロセスに適しています。原子炉は、望ましい蒸着プロセスに応じて、大気圧（Atmo）または高真空（HV）モードで動作できます。その高度な制御装置は、温度、圧力、時間などのすべてのプロセス要件が正確に制御されることを保証します。エンジニアは、プラテン、ガス分配部品、サンプルホルダーアセンブリ、電源などのコアコンポーネントに簡単にアクセスできます。この原子炉には、RFジェネレータ用の高度なRFマッチングネットワークと、ガス配分、フロー制御、アクティブモニタリング用の統合ガスパネルも含まれています。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000は生産性を考慮して設計されており、大量のプロセスポンプ、迅速なリアルタイムレシピリコール、高速基板輸送システムなど、蒸着スループットを最大化するいくつかの高度な機能を備えています。堅牢なチャンバー構造により、原子炉は均一な熱伝達を保証し、優れた蒸着結果をもたらします。AMAT P5000はレシピベースのオートメーション制御システムも備えており、プロセスの再現性が安定した結果をもたらすことができます。ユーザーフレンドリーなユニットは、多くの安全基準の要件を満たす統合安全マシンを備えており、広範なトラブルシューティングを提供しています。幅広い加工オプションを提供するために、P5000は冷却板、ホットプレート、サセプターなどのさまざまな高度なコンポーネントでカスタマイズすることができます。これにより、エンジニアは特定の堆積プロセスに固有のコンポーネントを選択し、生産スループット全体を最適化することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000は高性能および信頼性のために広くテストされ、証明されました。信頼できる、反復可能な結果およびさまざまなカスタマイズ可能な部品によって、それはあらゆる高収率の、精密薄膜の沈殿の処理の条件のための理想的な選択です。