中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293627747 を販売中
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販売された
ID: 293627747
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1995
System, 6"
Process: Nitride
(2) Chambers
DLH
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、さまざまな熱処理プロセス用に設計された高温多機能加工装置です。それは沈殿、エッチング、アニール、焼結、および包装を含むいろいろ先端物質的な処理の適用のための半導体そして先端材料工業で広く利用されています。AMAT P-5000 Reactorは、超薄壁セラミックチャンバーを備えており、優れた温度均一性、優れた信頼性、広いプロセスウィンドウを提供します。セラミックラインカプセル化された設計により、腐食性ガスの漏れを防ぎ、最大1000°C (1832°F)の温度に達することができます。この原子炉は、世界的な生産基準で正確な熱処理を可能にします。誘導加熱や高出力セラミックIR素子など、さまざまな発熱素子が用意されています。内部には、高精度のアライメントと位置決めを含む基板とウェーハのカスタマイズされた構成があります。APPLIED MATERIALTS P 5000リアクターは高性能コントローラと密接に統合されており、温度とプロセス変数の優れたレギュレーションを備えた一貫した再現可能なプロセスを可能にします。統合ソフトウェアシステムは、レシピを迅速かつ正確に処理するために外部デバイスと統合します。この原子炉には、防爆ケーシングや外部監視用のインターロックシステムなどの完全な安全機能も備えています。アプライドマテリアルズ(APPLIED MATERIALS) P5000リアクターは、半導体、先端材料、およびその他の産業用途における研究のための先進的で汎用性の高い加工ソリューションです。これは、高温での高品質の処理と厳格なプロセス制御の利点を顧客に提供するように設計されており、短いプロセスサイクルと広いプロセスウィンドウを提供します。原子炉の高度な設計と能力は、最適な性能が最も重要な産業にとって理想的な選択肢です。
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