中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293622411 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、生産規模の原子層成成炉です。この原子炉は、窒化物、酸化物、フッ化物を大型基板に高スループットで堆積させるために設計されています。原子炉は多段プラットフォーム上に構築されており、異なる材料の複数の層を単一の実行で堆積させることができます。その処理部屋はステンレス鋼からなされ、ウェーハを渡る均一な温度を保障するためにグラファイト表面の水晶感受器によって支えられます。この原子炉には、水晶振動子マイクロバランス（QCM）装置が搭載されており、目標蒸着速度は30-200A/minです。堆積したフィルムは、厚さ、コンフォーマル、ピンホールフリーで均一です。AMAT P-5000は、精密なデュアルレベルのABCオートキャリブレーションシステムを備えており、0。5°C以下の誤差で基板温度を制御できます。この単位と結合されるサーキットブレーカ機械のような高度の安全特徴、および過剰/温度の下のシャットオフです。これらの安全システムは、温度が安全限界を超えた場合にチャンバーに電力を遮断し、ウェーハ損傷のリスクを排除します。さらに、オプションのパージツールは、ピンホールフリーのフィルムを製造するために、チャンバー内の粒子やガスの検出と除去を保証します。アプライドマテリアルズP 5000は、高度なマルチチャネルガス管理資産も提供しています。このモデルは、蒸着シーケンスを正確かつ確実に制御するために設計されています。これには特殊なソフトウェアが含まれており、フィルム品質とスループットを最適化するためのすべてのプロセスパラメータを評価できます。これに加えて、AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000リアクターは柔軟でカスタマイズ可能です。ユーザーは、独自のプロセスシーケンスを設定し、特定のアプリケーションのニーズに合わせて堆積パラメータを調整することができます。全体として、AMAT P5000原子層の堆積炉は、薄膜の高品質の堆積のための強力で信頼性の高いツールです。これは、品質と一貫性を確保するための高度な安全機能と正確な制御システムを提供しています。この原子炉は、カスタマイズ可能なプラットフォームとユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、窒化物、酸化物、フッ化物の生産スケールの堆積に最適です。