中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293621605 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、半導体加工に使用される生産グレードのマルチチャンバーリアクターです。リアクターはモジュール式の設計を採用し、優れた稼働時間、可用性、再現性を提供します。AMAT P-5000炉は、粒子の汚染を最小限に抑える効率的なチャンバー設計を備えており、生産環境に最適です。この原子炉は重力支援ウェハ伝達装置を備えており、優れたガス流量最適化とチャンバーの均一性を提供します。リアクターには、センサー、コントローラ、およびユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを内蔵した高度なプロセス制御システムがあります。このユニットは、アニーリング、蒸着、エッチング、ドライヤーストリッピングなど、さまざまなプロセスをサポートするように構成することができます。プロセス制御装置は、正確な均一性と再現性を確保し、プロセスを調整または再設定する必要がある回数を削減します。応用材料P 5000リアクターは、幅広い温度と圧力にわたって均一で反復可能な結果をもたらす堅牢な構造で構築されています。この原子炉には、熱、光学、および電気制御のためのマルチゾーン機能も装備されています。この機能により、幅広い温度範囲でより正確なプロセスチューニングと反復可能な結果が得られます。リアクターのモジュール設計により、さまざまなプロセスを構成し、単一のツールに統合することができます。P-5000は、プロセスの多くの障壁に使用できる業界標準の生産グレードのツールです。さらに、この資産は信頼性が高く、再現性と均一性の向上をサポートし、プロセス変動の低減、ダウンタイムの削減、利回りの向上につながります。