中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293610620 を販売中
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ID: 293610620
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
CVD System, 8"
VME Type: Hard disk
21-Slots controller
SBC Board type: V21 Synergy
VGA Video board
Robot type: Phase-III
8-Slots storage elevator
No WPS sensor
Standard slit valve
Heat exchanger
Floppy Disk Drive (FDD): 3.5"
Standard cassette handler
I/O Wafer sensor
No Load lock slow vent
Load lock purge
Exhaust line type: Top, standard
Gas panel: (28) Gas lines
Chamber type:
Chamber A: Universal CVD
Chamber B: Standard CVD
Chamber A, B:
Process: PECVD Oxide
Process kit: Susceptor
MKS Manometer, 100 Torr
Clean method: RF Clean
Throttle valve: Direct drive dual spring W/C plug
Gas box MFC: AERA
Lamp driver
ENI OEM-12B RF Generator
RF Match: Phase-IV
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、半導体プロセス用途に特化した先進的な原子炉室です。この原子炉室は、さまざまな用途で優れた性能と制御を提供することを可能にする幅広い機能を提供します。原子炉室は良質のステンレス鋼から成り、腐食保護のために扱われる窒化物です。このチャンバーは、半径30。7cm、チャンバー幅45。7cm、チャンバー高さ39cmのAMAT P-5000ウェーハ加工用に構成されています。APPLIED MATERIALS P 5000リアクタチャンバーは、チャンバー圧力、温度、基板温度、サーマルサイクル、ガスフローなどの幅広いユーザー定義パラメータを可能にするために、完全に自動化されたプロセス制御システムを使用しています。プロセス制御システムには、プロセス情報を格納する組み込みデータロガーも含まれており、傾向を分析して特定のアプリケーションに最適なパラメータを決定するために取得することができます。これにより、加工結果の信頼性と精度が向上します。原子炉室には、2つの独立したガスマニホールドとレギュレータを備えたガスパネルもあります。ガスパネルは、各マニホールドによって提供されるガスの制御と、ガスの圧力と流量を提供します。これにより、ユーザーは所望の結果を達成するためにプロセス条件を調整することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000原子炉室は、環境ゴミ、ほこり、その他の粒子がない作業環境に設置されるように設計されています。チャンバーには、チャンバー内の静電気の蓄積を最小限に抑えるための静電気放電ケーブルが装備されています。チャンバーには自動窒素パージシステムと入口ポートが装備されています。入口の港は部屋に熱された窒素および他のプロセスガスの配達を可能にするように設計されています。これにより、プロセスの効率と一貫性を最大化できます。さらに、P 5000原子炉室は簡単で簡単なメンテナンスのために設計されています。チャンバーには、チャンバー内の取り外し可能な上下シールが含まれており、チャンバーの定期的な洗浄とサービスを可能にするために簡単に取り外すことができます。これにより、ダウンタイムが短縮され、ユーザーは中断することなく処理を続けることができます。AMAT P5000リアクタチャンバーは、半導体加工アプリケーション向けの高度で信頼性の高いツールです。その機能により、さまざまなアプリケーションに適しており、メンテナンスは簡単で効率的です。適切な操作および維持によって、この原子炉の部屋は良質の結果および信頼できる長期操作を保障するのを助けることができます。
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