中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293600406 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、化学蒸着（CVD）や物理蒸着（PVD）などの製造プロセスに使用される最先端の熱処理炉です。これは、基板表面に沿った温度の最高の均一性と制御性を提供し、400°C/minまでのプロセスダイナミクスで基板サイクルを高速化します。このユニットは、独自のノズル設計により、一貫した均一なプロセス結果を得ることができます。AMAT P-5000は、コントロールボックス、真空チャンバー、2つのロードロック、およびロボット搬送アームを含む堅牢なシステムです。高温SiCチャンバ、超低圧チャンバ、半高圧チャンバなど、さまざまなプロセスチャンバーを提供しています。これらのチャンバは、同じ生産サイクルで1つのウェーハ上で複数のプロセスを実行する機能を提供します。さらに、システムはモジュール式に設計されており、追加のチャンバーや現場でのクリーニングなど、さまざまなアップグレードが可能です。応用材料P 5000は高度な制御技術を備えており、温度、圧力、ガスの流れなどのパラメータの精密プロセス制御を可能にします。デジタルプロセス制御は、原子炉室レベルで、またタッチパネルオペレータを介してリモートで利用できます。この高度な制御技術により、厳密なプロセス制御が可能となり、可変性を最小限に抑えた再現性と高い歩留まりを実現します。統合されたレシピシステムは、迅速なレシピ作成、使用、転送のためのステップをプログラミングする機能を提供します。P5000は、小規模なバッチランの手動および自動化された生産だけでなく、大量の製造にも柔軟性を提供します。インストールとメンテナンスが容易になり、メンテナンスのターンアラウンドが改善され、コストのかかるダウンタイムが短縮されるように設計されています。オペレータパネルガードを含む高度な安全機能は、操作中に人員を機械から遠ざけます。AMAT P 5000は、高品質、再現性、柔軟性を提供する理想的な生産ツールです。ディスプレイや太陽光発電からマイクロエレクトロニクスまで、さまざまな洗練された製品を生産することができます。APPLIED MATERIALS P5000は、パフォーマンスと一貫性のユニークな組み合わせを提供し、大量の製造プロセスに最適です。