中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293594313 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、半導体製造で使用される単一のウェハリアクターです。この原子炉は、化学機械研磨（CMP）、酸化、窒化、金属や絶縁材料の堆積など、さまざまな用途に使用されています。その汎用性の高い設計は、最新の高性能集積回路を製造するための理想的なツールになります。AMAT P-5000リアクターは、反応室内の環境を正確かつ一貫した制御できるフロー型プロセスを利用しています。この流れプロセスはまた、異なるプロセスで使用されるガス混合物の厳密な制御を可能にします。反応チャンバーには、反応プラズマの複数のソースと高度なウェーハ輸送システムが装備されています。応用材料P 5000リアクターは、優れた性能を提供することを可能にする多くの機能を提供します。ウェーハ全体にわたるカバレッジの非常に均一性があり、プロセスが望ましい結果をもたらすことを保証します。統合されたCMPシステムは、スラリー、固定研磨剤、化学機械平坦化（CMP）などの複数の技術をサポートし、ウェーハ全体にわたって優れた平坦性を提供します。また、高精度のロボットアームを搭載しており、ウェーハの正確かつ再現性の高い取り扱いを保証し、反応チャンバー内にウェーハを正確に配置し、重要なアプリケーションの結果を最適化することができます。プロセス全体で一貫した再現性を実現するレシピ管理を自動化し、複数のプロセス変数を処理できます。アプライドマテリアルズP-5000原子炉はまた、処理中に精密な制御が維持されるように、優れた温度変動と監視を提供します。また、反応に必要なガスのみを使用することを保証する、強化された反応ガス制御を提供します。最後に、原子炉は高度なレシピもサポートしており、困難で複雑なプロセスで使用することができます。要約すると、アプライドマテリアルズP5000リアクターは非常に洗練された汎用性の高いツールであり、幅広い半導体製造プロセスに最適です。高度な均一性と再現性により、精密なプロセス制御を実現しています。その温度変動性、正確な反応性ガス制御、自動化されたレシピ管理およびその他の高度な機能は、優れた品質と生産性を提供します。