中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293587332 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS P5000
ID: 293587332
ウェーハサイズ: 6"
PECVD Systems, 6" (3) DXL 8-Slots storage.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS P5000シリーズは、蒸発、スパッタ、および/またはプラズマ源を利用して基板上にコンフォーマル、均一、ピンホールフリーの薄膜コーティングを作成するための、経済的、万能、低コストのバッチ蒸着反応器です。AMAT P-5000シリーズは、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、MEMS、パワーデバイスなどの半導体およびナノファブリケーションスケールの生産用に設計されています。APPLIED MATERIALTS P 5000シリーズは、動作範囲にわたって高い再現性、信頼性、安定性を確保するように設計されており、合理化されたモジュール式アプローチにより、範囲内のさまざまな要件を満たしながら簡単なチューニングと汎用性を実現します。P-5000には高度な連続流型リアクター設計が組み込まれており、困難なコート構造や基板でも均一性とカバレッジを実現できます。この原子炉には可変レートパルス電源が取り付けられており、ユーザーは蒸着速度を密接に監視することができます。AMAT P5000シリーズは、高出力機能でも総所有コストを低減し、コストのかかるスペアパーツやメンテナンスの必要性を低減できるように設計されています。APPLIED MATERIALS P5000シリーズは、バッチ蒸着プロセスの経済的なソリューションとして、副生成物からの汚染から保護するために使用できる真空絶縁型汚染防止フィルターなどの機能を備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS P 5000シリーズは、フィルム性能に対する熱効果を最小限に抑えるために、超低圧力(<1 x 10-7 Torr)と効率的な温度制御を実現するために、単ポンプまたは2ポンプの2段階拡散ポンプシステムと低温冷却動作に依存しています。この原子炉は、室温から500°Cを超える温度を必要とするプロセスをサポートするように設計されています。ユーザーの柔軟性を高めるために、APPLIED MATERIALS P-5000シリーズは、ターゲットの厚さ、均一性、再現性の4つの制御パラメータを提供します。このデバイスはまた、複数のプロセスセンサーを備えており、大規模なデータ収集システムと組み合わせて使用することができます。AMAT P 5000シリーズには直感的なユーザーインターフェイスが含まれており、遠隔操作を可能にし、知識豊富なスタッフがシステムの頻繁なハンズオン調整なしで効果的に沈着を管理できます。今後のアップデートやアップグレードは、さらなるカスタマイズが必要な方にもご利用いただけます。システムは長い耐用年数のために造られます。
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