中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #293586392 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000は、シリコンベースのデバイス、金属、半導体などの先端材料の製造に使用される高温熱加工ツールです。このツールは、非常に小さな機能を持つ集積回路の生産を可能にする半導体製造プロセスの不可欠な部分です。AMATのP-5000炉はウェーハにリンのガスの高用量を提供するために縦の冷たい壁の反対されたプラズマの炉を利用し、850°Cまで温度を支えることができます。工具の高温化により、誘電体や金属など幅広い材料の拡散、酸化、窒化、堆積などの高度なプロセスに使用できます。さらに、このツールはスパッタ成膜に使用でき、高品質のフィルムや材料を生成します。APPLIED MATERIALS P 5000は、成膜プロセスを強化し、フィルムの成長率と均質性を向上させ、ウェーハあたりのスループットと層を増加させる専用のCoolPlasma™源を備えています。さらに、原子炉は独立したガスボックスを備えており、主要な処理室を保護しながら、さまざまな成分の柔軟な共蒸着を可能にします。このツールには温度制御システムが組み込まれており、正確な処理温度、より高い均一性、および重要なプロセスに対する温度制御が向上しています。長年にわたって高度なプロセス技術が開発されており、プラズマ強化化学蒸着、原子層蒸着、金属化学蒸着など幅広い用途に使用できます。P 5000リアクターは、先端材料の適用と生産のための最先端の熱処理ツールの一つになる高度な機能と技術の範囲を持っています。その高度なプラズマ源、温度制御システム、および柔軟性は、ユーザーにさまざまなコンポーネントを製造するための正確で信頼性の高いツールを提供します。