中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #191829 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000リアクターは、半導体産業で使用される信頼性と汎用性の高いタイプのリアクターです。AMAT P-5000は、垂直のシングルウェーハ熱処理装置で、広い処理領域を有しています。この原子炉は、高度に専門化された真空システムとガス供給ユニット、温度制御プロセスチャンバー、および強力なウェーハハンドリングマシンで構成されています。APPLIED MATERIALS P 5000の真空ツールは、粒子数を減らし、クリーンな環境を確保するように設計されています。対流真空アセット、ターボ分子ポンプ、ゲートおよび特殊バルブ、および低汚染レベルを維持するためのフィルターのセットで構成されています。真空モデルは、不要な粒子を抽出し、プロセスチャンバー内のクリーンな雰囲気を維持する機能を持っています。P-5000のガス供給装置には、アクティブバックサイドのCO2ポストライザマニホールドと低消費電力の熱効率ノズルが備わっています。CO2ポストライザーは、ウェーハ表面へのガス供給を直接管理するのに役立ちます。低電力、熱効率ノズルは、プロセスチャンバ内の泡の形成を低減し、プロセス中の精度と再現性を確保するように設計されています。プロセスチャンバーには、温度制御要素が装備されており、正確な温度調節を保証します。また、低ガス圧を維持するための高度な窒素/アルゴンパージングシステムを備えています。この原子炉は、最大4インチ（10cm）のウエハを処理する機能を備えています。P 5000のウエハハンドリングユニットは、3ウェイロボットの積み下ろし、カセットからカセットまでの超音波洗浄、非接触型大気搬送機で構成されています。ロボットローディングおよびアンローディングツールは、プロセスチャンバーと接触することなく、複数のウェーハを効率的かつ再現可能に処理できるように設計されています。カセットからカセットへの超音波洗浄アセットは、低周波、低圧洗浄を使用してウェーハの洗浄と検査を行い、歩留まりを改善し、再現性を高めます。AMAT P5000は、半導体産業で使用される効率的で信頼性の高い汎用性の高い原子炉です。それは高性能の熱処理、高度のガス配達機能、精密温度調整および正確なサイクルタイム管理を提供します。応用材料P5000は反復可能な処理、きれいな真空環境および有効な反応ガスの配達を保障します。