中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #188548 を販売中

AMAT （APPLIED MATERIALS） AMAT/APPLIED MATERIALIES P5000は、高度な製造プロセス向けに設計された敵対的な環境のシングルウェーハリアクターです。この高度な加工装置は、極端な温度と圧力制御を提供し、ユーザーは高圧と低圧の両方の環境で精密に蒸着およびエッチングプロセスをターゲットにすることができます。AMAT P-5000の温度範囲は摂氏350度から摂氏2000度まで、圧力範囲は1 Torrから数百Torrまでで、ポリシリコン、酸化物、窒化物、金属、合金などの幅広い材料の処理が可能です。アプライドマテリアルズP 5000リアクターには、拡散障壁、イオン源、コーティングされた排気板など、精密な処理を支援するいくつかの技術が装備されています。拡散障壁はインコネルとハステロイから作られています。これにより、熱衝撃、腐食、酸化に耐性があり、チャンバー内のガスの混合防止に役立ちます。AMAT P5000で使用されるイオン源は、処理する材料に応じて、写真、水素化物、パルス、ホット、または中空陰極など、さまざまな種類のイオンを生成するように設計されています。AMAT/APPLIED MATERIALS P-5000の排気プレートは、基板との裏面反応を防ぐためにSiC材料でコーティングされており、原子炉室内の汚染を低減し、加工材料の品質を保護します。アプライドマテリアルズP5000は、ウェーハハンドリングシステム、自動校正、レシピファイルの保管と管理など、幅広い高度な自動化機能を備えています。ウェーハハンドリングシステムを使用すると、ユーザーはウェーハをプロセスチャンバーの内外に正確に移動できます。自動化された校正プロセスにより、ランタイムサイクルを短縮し、プロセス精度を最適化できます。最後に、レシピファイルは最大250のレシピを保存でき、一貫性のある再現性を提供し、ユーザーが中断されたプロセスをすばやく再開することができます。全体として、P5000は幅広い材料タイプに高精度の制御および処理機能を提供します。自動化されたキャリブレーション、手動および高精度のウェーハ処理、およびその広範な温度および圧力範囲などの高度な機能により、P-5000は高度な製造プロセスに理想的なリアクタです。