中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9218922 を販売中

AMAT （APPLIED MATERIALS） AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxPは、半導体、ディスプレイ、燃料電池、MEMSアプリケーションの範囲でハイエンドのプラズマ処理を提供するように設計された最先端のプラズマリアクターです。この原子炉は、生産環境と研究環境の両方で最大限の柔軟性とスループットを実現するように設計されています。AMAT P5000 MxPは、水素、窒素、酸素など、さまざまなプロセスガスから生成されたプラズマを供給することができます。また、最大温度範囲は750〜1000°Cで、パルスやクワッドゾーン動作などの温度制御オプションも提供しています。さらに、リアクターにはさまざまな診断部品とサンプル処理部品を装備することができ、リアルタイムのプラズマ測定に使用できます。この原子炉は独自のハードウェアとソフトウェアシステムを備えており、信頼性の高い再現可能なプロセスを提供します。これには、精密蒸着およびエッチング処理、高速熱処理、ラピッドプロトタイピング、および精密マスクのアライメントと調整が含まれます。この制御アーキテクチャは、in-situセンサフィードバック制御、超高速ガス混合、およびリアルタイムスペクトル解析を備えています。アプライドマテリアルズP5000 MxPは、自動チャンバークリーニング、ウェハローディング/アンロード、および複数のレシピ実行など、多くの自動プロセス機能を提供しています。この原子炉はまた、プロセス監視と結果報告のための拡張データ収集機能を提供します。さらに、このツールは高い再現性を目指して設計されており、部品や部品へのメンテナンスが容易で、ダウンタイムが短縮されます。要約すると、P5000 MxPは、最新のプラズマ処理ニーズ向けに設計された強力で汎用性の高い原子炉です。自動化されたプロセス機能と強力なハードウェアおよびソフトウェアシステムを提供するため、ユーザーはダウンタイムを最小限に抑えて再現性のある信頼性の高いプロセスを実現できます。