中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #9160366 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+は、大量の製造アプリケーションに使用される高度な生産炉です。独自のモジュール設計により、温度やその他の処理パラメータを正確にセグメント化して制御し、生産量とプロセス予測性を最大限に高めることができます。AMAT P5000 MxP+リアクターは、素材や酸化物コーティングされたシリコン、サファイア、幅広いガラスなど、幅広い基板の材料加工に最適なツールです。APPLIED MATERIALS P5000 MxP+は、高質量スループットと高熱容量動作用に設計されたチャンバーを備えたマルチゾーン炉です。レシピの微調整やプロセスパラメータ（ランプアップ速度やクールダウン速度など）を個別に調整可能な3つの組み合わせを利用し、生産中にリアルタイムデータを収集することができます。これにより、異なる基材を切り替える場合でも、プロセスの再現性と再現性が向上します。この原子炉には、大気圧の化学蒸着（APCVD）や低圧の化学蒸着（LPCVD）など、幅広いプロセスモジュールが装備されています。この構成は、堆積プロセスの柔軟性を可能にし、さまざまなプロセス目標を達成することができます。P5000 MxP+は、7000ウェーハのバッチサイズを扱うことができ、極端な圧力、温度、真空条件下で動作するように構築されています。また、火災や爆発のリスクを低減するために設計された緊急電源遮断ユニットや酸素還元素子など、さまざまな安全機能を備えています。それは危険な要素への露出を防ぐために高度なインターロックを組み込み、最も厳しい環境でも高スループット、信頼性の高い動作のために設計されています。さらに、自動ウェーハハンドリングマシン、環境保護のための低排出設計、最大10個のレシピセットのサポートなどがあります。AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+は、大量の製造アプリケーションで最適な性能を得るために設計された先進レベルの生産炉です。APCVDおよびLPCVDを含む幅広いプロセスを処理するために構築されており、品質プロセスの再現性と再現性を確保するための正確な温度およびプロセス制御を提供します。このツールには、露出リスクを低減するための安全機能が組み込まれており、大規模なバッチサイズに対応できる自動ウェハハンドリングアセットが含まれています。AMAT P5000 MxP+は、複数の材料加工アプリケーションに適した信頼性と信頼性の高い生産ツールです。