中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP+ #9116735 を販売中

ID: 9116735
Oxide etcher (3) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+は、幅広いプロセスアプリケーションで優れた性能を提供するように設計された最先端のセラミックコイル型リアクターです。AMAT P5000 MxP+の反応室は、2ピースのセラミックコーティングされた金属製ベルジャーから形成されます。外側のベルジャーは最大1000°Cの温度に耐えることができ、内側のベルジャーは最大1200°Cまで動作することができます。内部の鐘瓶は粒子の汚染を最小にし、内部の部屋からの容易なサンプル移動を可能にするように設計されているテフロンのふたを特色にします。ステンレス鋼のコイルは原子炉本体として機能し、穴あきプラズマガードは反応室の最大プラズマ閉じ込めと均一な加熱を提供するように設計されています。反応室内では、アプライドマテリアルズP5000 MxP+は、低圧化学蒸着(LPCVD)やプラズマ増強など、さまざまな高効率プロセスを組み合わせて使用します。これにより、高温での材料の高度に制御された成長、特性評価、および加工が可能になります。また、原子炉はガスの流れを管理するための自動化された装置を備えており、プロセスで使用される化学物質やその他の蒸気が安全に含まれたり劣化したりすることを保証しています。高度な化学蒸着プロセスに加えて、P5000 MxP+は特殊な熱処理機能も備えています。反応チャンバーの温度は、オペレータによって迅速に調整するか、原子炉のデジタル制御システムを介して自動的に調整することができます。1200°Cまでの温度で、AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP+は幅広い材料およびプロセスを処理することができます。これらのプロセスには、ローカライズされたアニーリング、金属蒸着、エッチングプロセスが含まれます。AMAT P5000 MxP+の最終的な特徴は多軸モーションユニットです。このモーションマシンは、サンプル処理の精度を向上させ、チャンバー内の熱勾配を低減するように設計されています。モーションツールは、3つの軸に沿って回転、傾き、振動する能力を備えた3つの自由度を利用しています。これにより、サンプルを配置して操作することができます。要約すると、APPLIED MATERIALS P5000 MxP+は、高温での材料の成長、特性評価、および処理のためのさまざまな高効率プロセスを提供する最先端のセラミックコイル型リアクターです。この原子炉には、低圧化学蒸着やプラズマ強化などの特殊な機能と、高度な熱処理技術、自動ガス流量管理資産が含まれています。MxP+P5000、サンプルの配置と操作を改善するための多軸モーションモデルも使用しています。
まだレビューはありません