中古 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 MxP #9102226 を販売中

ID: 9102226
ウェーハサイズ: 6"
Metal etcher, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 MxP Reactorは、Atomic Layer Deposition (ALD)、 Physical Vapor Deposition (PVD)、 Rapid Thermal Processing (RTP)などの薄膜蒸着プロセスを処理するために設計された次世代の高性の生産グレードです。この原子炉は、P5000シリーズの改良版であり、より信頼性の高い結果を得るための高効率と高品質反応を提供します。AMAT P5000 MxPリアクターは高速で高解像度の油圧システムを備えているため、ドリフトを最小限に抑えて複数のコンポーネントを正確かつ制御することができます。このユニットは、反応条件を正確に制御しながら、最高温度1100°Cの500mbarまでの圧力で動作することができます。一貫性のある均一性マシンは、原子炉全体にわたって一貫したプロセスを維持するのに役立ちます。これは、反応に必要なボリュームとガスの流れを直接調整することができますターゲットチャンバーを備えています。また、リアクターにはソースモニタリングツールが組み込まれており、リアクターの稼働中に各ソースの状態を監視することができます。リアルタイム温度制御など、さまざまなソフトウェアベースの機能により、ユーザーはプロセス条件を最適化して反応結果を改善できます。運転中の安全性を高めるため、緊急スイッチオフや不活性ガス漏れ検出器も装備しています。APPLIED MATERIALS P5000 MxP Reactorはモジュラー資産であり、簡単な取り付けと迅速な工具交換を可能にします。簡単に交換可能で保守可能な部品が付属しているため、メンテナンスが容易で稼働時間が向上します。直感的なInteractive GUIにより、統合された1つのインターフェイスから簡単かつ効率的に操作できます。全体として、P5000 MxP Reactorは、薄膜蒸着プロセスを確実かつ効率的に処理できる強力な生産グレードのモデルです。それは生産等級の質および信頼できる性能をユーザーに与える産業適用の範囲の使用のために適しています。
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